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李振霞
作品数:
2
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河北工业大学
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自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
檀柏梅
河北工业大学
牛新环
河北工业大学
王胜利
河北工业大学
杨立兵
河北工业大学
张研
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1篇
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Al-Mg/W-Mo合金化学机械抛光技术研究
王胜利
李振霞
牛新环
檀柏梅
边征
张研
江炎
孙业林
Al-Mg/W-Mo等合金材料表面加工过去以单一机械切削或研磨抛光为主,加工精度较低,表面粗糙度只能达到微米级,成为制约进一步精密化发展的“瓶颈”之一。该项目将半导体制造中化学机械抛光(CMP)技术拓展到精密物理实验特定...
关键词:
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化学机械抛光
计算机硬磁盘基片化学机械抛光机理与技术研究
王胜利
檀柏梅
李振霞
牛新环
高宝红
田雨
杨立兵
刘利宾
项霞
随着计算机硬盘存储密度大幅度增加,硬盘的存储容量飞速扩大,硬盘磁头的飞行高度进一步降低,必须对硬磁盘基片进行平坦化,以降低表面粗糙度和波纹度,同时必须消除凹坑、突起、划痕等表面缺陷。要求硬磁盘基片表面粗糙度和波纹度达到埃...
关键词:
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计算机硬盘
机械抛光
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