汪红
- 作品数：177 被引量：200H指数：8
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 电镀层均匀性的Ansys模拟与优化被引量：15
- 2008年
- 尝试用Ansys有限元软件对电镀过程中电力线分布进行模拟分析.并采用一些辅助措施改进电镀模型,力求使电镀层厚度的均匀性有所提高。模拟分析发现:在阴阳极之间加上一块中间带孔的挡板,可以改善镀层的均匀性。当辅助挡板的孔径为5 cm、且离开阴极5.25 cm时,电镀层厚度的相对误差由无挡板时的41.8%降为24.3%。通过电镀试验验证模拟分析,结果两者显示出较好的一致性。
- 董久超王磊汤俊刘瑞汪红戴旭涵
- 关键词：微机电系统电镀均匀性有限元分析
- 金属基微机械光纤定位夹的制备方法
- 一种属于光学技术领域的金属基微机械光纤定位夹的制备方法，本发明在单晶硅片上开出光纤定位槽的湿法刻蚀掩膜窗口后，采用平面掩膜微电铸工艺，在光纤定位槽掩膜窗口及光纤定位槽掩膜窗口两侧的上方制备金属基微机械光纤定位夹，定位夹的...
- 戴旭涵赵小林丁桂甫汪红蔡炳初
- 文献传递
- 用于等离子体显示器的碳纳米管辅助结构的制备方法
- 一种等离子体显示器技术领域的用于等离子体显示器的碳纳米管辅助结构及其制备方法，通过PDP前面板预处理，在介质层上溅射种子层；在种子层上依次进行旋涂光刻胶、烘胶、曝光、显影，留出要添加碳纳米管结构的指定区域；对指定的区域进...
- 丁桂甫刘启发汪红王艳邓敏
- 文献传递
- 金属基微机械光纤定位夹的制备方法
- 一种属于光学技术领域的金属基微机械光纤定位夹的制备方法，本发明在单晶硅片上开出光纤定位槽的湿法刻蚀掩膜窗口后，采用平面掩膜微电铸工艺，在光纤定位槽掩膜窗口及光纤定位槽掩膜窗口两侧的上方制备金属基微机械光纤定位夹，定位夹的...
- 戴旭涵赵小林丁桂甫汪红蔡炳初
- 文献传递
- MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：10
- 2008年
- 利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。
- 汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫
- 关键词：微电铸MEMS有限元
- 一种沟通系统中的沟通辅具
- 本实用新型公开了一种沟通系统中的沟通辅具，用于语言沟通障碍者在言语康复治疗中的沟通训练，以激发语言功能，提高语言学习能力。对于完全丧失语言功能的患者，可以代替其口语输出。其主要由核心处理器、卡片识别模块、录放控制模块、数...
- 黄昭鸣周林灿杨三华司博宇汪红李宁
- 文献传递
- 基于水玻璃-陶瓷复合介质的TSV封装再分布层制备方法
- 本发明提供了一种基于水玻璃-陶瓷复合介质的TSV封装再分布层制备方法，包括以下步骤：（1）混合水玻璃和陶瓷粉末，使陶瓷粉末均匀分散在水玻璃中；（2）将混合物均匀涂覆在再分布互连线已经完成的晶圆表面；（3）通过程序控温烘干...
- 鹿雯丁桂甫罗江波汪红
- 用于微创动态血糖监测的微尖阵列电极
- 一种医疗监测仪器技术领域的用于微创动态血糖监测的微尖阵列电极，包括：支撑结构和与其固定连接的三个电极结构，该电极结构由相连的电极微尖阵列和电极传导结构组成，三个电极传导结构均与支撑结构固定连接。本发明的各电极的微尖阵列刺...
- 丁桂甫袁阳汪红王艳沈慧
- 文献传递
- 弧形MEMS柔顺双稳态机构
- 一种微机电系统技术领域的弧形MEMS柔顺双稳态机构，包括：弧型梁、柔性弹簧、集中质量块和基座，其中：集中质量块固定设置于弧型梁的正中心，弧型梁的两端分别与两个相同结构的柔性弹簧的一端相连，两个柔性弹簧的另一端分别与两个相...
- 吴义伯王娟毛胜平丁桂甫张丛春汪红
- 文献传递
- 碳纳米管复合电沉积镍基薄膜材料研究
- 为了制备高性能的金属基碳纳米管复合材料,以多壁碳纳米管作为添加剂,采用超声复合空气搅拌,通过复合电沉积技术制备了碳管均匀分散、镀层表面平整镍基碳纳米管复合薄膜。表面形貌观测表明超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的...
- 诸利达吴惠箐王艳汪红丁桂甫
- 关键词：碳纳米管金属基复合材料复合电沉积
- 文献传递
