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许德霖

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：华东师范大学更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 3篇氧化锡
  • 2篇淀积
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇湿敏
  • 2篇气敏
  • 2篇气敏器件
  • 2篇微细
  • 2篇敏感元件
  • 2篇工农业生产
  • 2篇测量范围
  • 1篇电子产品
  • 1篇电子产品可靠...
  • 1篇在线检测
  • 1篇温度
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇可靠性
  • 1篇改性
  • 1篇感器

机构

  • 7篇华东师范大学

作者

  • 7篇许德霖
  • 4篇茅有福
  • 2篇徐静芳
  • 1篇汤世豪
  • 1篇刘锦高

传媒

  • 1篇郑州轻工业学...
  • 1篇上海计量测试
  • 1篇第三届全国敏...
  • 1篇第三届全国气...
  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 3篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1992
  • 2篇1990
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法
一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩...
茅有福许德霖
淀积和掺杂方法对氧化锡薄膜气体灵敏度的影响
1994年
采用蒸发法、反应离子溅射法和等离子增强淀积法３种方法，在ＳｉＯ＿２－Ｓｉ衬底上淀积一层ＳｎＯ＿２薄膜，在这层薄膜内用反应离子溅射或蒸发法掺人微量Ａｌ．比较这些掺杂和未掺杂样品对氢气响应灵敏度的差别，研究了响应灵敏度差别与薄膜的微观结构和表面原子价态之间的关系．
许德霖徐静芳
关键词：灵敏度氧化锡气敏器件淀积掺杂
一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法
一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩...
茅有福许德霖
文献传递
温湿传感器及其在线检测中的应用
1994年
一、温湿传感器 1.工作原理 高分子薄膜能可逆地吸收和释放水分子,其介电常数将随之变化。用这种薄膜作为电介质与金属平行板电极组成的电容结构。
茅有福许德霖刘锦高杨荷金
关键词：温度传感器在线检测
淀积和掺杂方法对氧化锡薄膜气体灵敏度的影响
许德霖徐静芳
关键词：氧化锡气敏器件
对薄膜型温湿敏感器件的可靠性考虑和试验
茅有福许德霖
关键词：电子产品可靠性
氧化锡薄膜的体掺杂改性
许德霖汤世豪
关键词：氧化锡改性
全选 清除 导出
共1页<1>
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