2024年8月27日
星期二
|
欢迎来到贵州省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
谢琦
作品数:
13
被引量:7
H指数:2
供职机构:
复旦大学
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
电子电信
化学工程
政治法律
更多>>
合作作者
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院微电...
茹国平
复旦大学信息科学与工程学院微电...
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院微电...
蒋玉龙
复旦大学
高滋
复旦大学
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
8篇
专利
2篇
学位论文
2篇
会议论文
1篇
期刊文章
领域
3篇
电子电信
2篇
化学工程
1篇
政治法律
主题
6篇
阻挡层
6篇
扩散阻挡层
6篇
互连
4篇
铜互连
3篇
电路
3篇
淀积
3篇
退火
3篇
微电子
3篇
金属
3篇
集成电路
3篇
铜
2篇
氧化镓
2篇
乙烷
2篇
乙烷脱氢
2篇
乙烯
2篇
溶剂
2篇
溶剂热
2篇
退火处理
2篇
气相淀积
2篇
籽晶
机构
13篇
复旦大学
作者
13篇
谢琦
9篇
屈新萍
6篇
茹国平
5篇
李炳宗
4篇
蒋玉龙
2篇
乐英红
2篇
于浩
2篇
张卫
2篇
谭晶晶
2篇
赵莹
2篇
华伟明
2篇
高滋
1篇
丁少锋
1篇
陈韬
1篇
周觅
1篇
蒋玉龙
传媒
1篇
Journa...
1篇
第十四届全国...
年份
1篇
2022
1篇
2020
1篇
2012
2篇
2011
2篇
2010
1篇
2009
1篇
2008
2篇
2007
1篇
2006
1篇
2005
共
13
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
基于不同扩散阻挡层的籽晶铜上电镀孪晶铜初步研究
本文采用电镀方法制备具有一定孪晶密度的纯铜样品,并对不同的电镀参数和不同电镀衬底的实验结果进行了初步比较。发现不同的衬底结构对孪晶的产生和密度有很大影响。同时发现 W 基扩散阻挡层的电镀铜有很强的(111)择优晶向。
赵莹
谢琦
屈新萍
关键词:
电镀
孪晶
文献传递
一种形成铜接触互连结构的方法
本发明属于半导体器件技术领域,具体为一种形成铜接触互连结构的方法。具体为,在接触层的介质开孔露出硅片上源漏的金属硅化物层上形成扩散阻挡层,然后进行铜材料的填充,从而形成互连和硅器件的接触。其中扩散阻挡层的材料为含Si的三...
赵莹
屈新萍
谢琦
文献传递
一种抑制铜互连结构中铜氧化的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种在铜互连技术中当采用钌(Ru)黏附层时抑制铜氧化的方法。其主要方法就是利用在铜的黏附层或扩散阻挡层中掺入适量的碳(C),从而来抑制在退火过程中Ru对Cu的增强氧化效应,或是集成电路工作...
丁少锋
谢琦
屈新萍
文献传递
用于二氧化碳气氛下乙烷脱氢制乙烯的尖晶石催化剂及其制备方法
本发明属于化工催化剂技术领域,具体为一种用于二氧化碳气氛下乙烷脱氢制乙烯的尖晶石催化剂及其制备方法。本发明催化剂为掺杂氧化镓的镁铝尖晶石,其通式为:MgGa<Sub><I>x</I></Sub>Al<Sub>2‑<I>x...
谢琦
乐英红
郭宏垚
华伟明
高滋
文献传递
一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法。其步骤为先制备一种和铜不易发生互溶、扩散、反应的但具有高界面能的衬底,用常规物理气相淀积的方法沉积铜薄膜,在刚淀积的铜薄膜中即可产生纳米尺度孪晶。为增大铜...
谢琦
蒋玉龙
屈新萍
茹国平
李炳宗
文献传递
金属铜与镍硅化合物的的叠层接触结构及其制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种提升铜与镍硅化合物直接接触热稳定性的叠层接触结构。因为铜的导电性比钨好,因此在集成电路芯片第一层互连线与晶体管源、漏、栅极所用的镍硅化合物电极间可以利用铜塞替代传统钨塞。本发明具体采...
蒋玉龙
于浩
谢琦
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
文献传递
一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法。其步骤为先制备一种和铜不易发生互溶、扩散、反应的但具有高界面能的衬底,用常规物理气相淀积的方法沉积铜薄膜,在刚淀积的铜薄膜中即可产生纳米尺度孪晶。为增大铜...
谢琦
蒋玉龙
屈新萍
茹国平
李炳宗
文献传递
一种实现金属-锗接触中锗衬底表面费米能级解钉扎的方法
本发明属于微电子技术领域,具体为一种实现金属-锗接触中锗衬底表面费米能级解钉扎的方法。锗器件因其高载流子迁移率、可实现低等效氧化层厚度以及与现有工艺的高兼容性等优点,成为目前注目的焦点,但锗严重的表面费米能级钉扎效应却是...
蒋玉龙
于浩
谢琦
茹国平
屈新萍
李炳宗
张卫
文献传递
用于二氧化碳气氛下乙烷脱氢制乙烯的尖晶石催化剂及其制备方法
本发明属于化工催化剂技术领域,具体为一种用于二氧化碳气氛下乙烷脱氢制乙烯的尖晶石催化剂及其制备方法。本发明催化剂为掺杂氧化镓的镁铝尖晶石,其通式为:MgGa<Sub><I>x</I></Sub>Al<Sub>2‑<I>x...
谢琦
乐英红
郭宏垚
华伟明
高滋
超薄Ru/TaN双层薄膜作为无籽晶铜互连扩散阻挡层
2006年
研究了钌(Ru)/氮化钽(TaN)双层结构对铜的扩散阻挡特性,在Si(100)衬底上用离子束溅射的方法沉积了超薄Ru/TaN以及Cu/Ru/TaN薄膜,在高纯氮气保护下对样品进行快速热退火,用X射线衍射、四探针以及电流-时间测试等表征手段研究了Ru/TaN双层结构薄膜的热稳定性和对铜的扩散阻挡特性.同时还对Ru/TaN结构上的铜进行了直接电镀.实验结果表明Ru/TaN双层结构具有优良的热稳定性和扩散阻挡特性,在无籽晶铜互连工艺中有较好的应用前景.
谭晶晶
周觅
陈韬
谢琦
茹国平
屈新萍
关键词:
钌
铜互连
扩散阻挡层
全选
清除
导出
共2页
<
1
2
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张