赵尔近
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- N型重掺杂硅微细电火花加工试验研究
- 由于半导体材料具有独特的光电性质，在微机电系统领域有着广泛的应用。但是，半导体材料，例如硅，具有硬、脆特性，很难进行机械加工。电火花加工是一种非接触式特种加工方法，与材料的硬脆特性无关。针对N型重掺杂硅的高深宽比微细结构...
- 赵尔近
- 关键词：微细电火花加工放电状态
- 文献传递
- N型重掺杂硅微细电火花加工试验研究
- 2013年
- 采用N型重掺杂硅作为微细电火花加工对象,通过选择不同电参数(空载电压120V、160V,脉宽0.25μs、2.5μs),进行对比试验,并采用SEM方法对工件表面及加工产物的形貌进行表征和分析,研究不同脉冲能量(最小放电脉冲能量约10-7J)对加工表面及产物的影响。试验结果表明,随着单个脉冲能量的减小,放电凹坑和加工产物尺寸显著减小,加工表面质量有所提高。
- 赵尔近汪炜张伟张俊清
- 关键词：电火花硅
- 微能放电电蚀量的数值模拟与试验研究
- 2011年
- 为了定量研究微能放电电蚀量与电极极性和放电能量的关系,根据热传导基本理论和微能放电的实际情况,建立微能放电热传播模型,借助ANSYS分析软件,对微能放电中正负两极的单脉冲放电温度场进行了数值模拟;然后采用两根直径20μm且互相垂直的钨丝进行侧面放电,测量正负两极放电凹坑直径和深度并分别计算其电蚀量,验证仿真结果的正确性。
- 冯海娣汪炜刘正埙张伟赵尔近
- 关键词：温度场分布数值模拟
- 一种激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子的制备方法及装置
- 本发明公开了一种激波辅助超短脉冲放电制备纳米粒子的方法及其装置，属于纳米材料技术领域。制备方法是使用超短脉冲电源在加工工件和工具电极之间施加超短脉冲电场，电离、击穿绝缘工作液介质形成等离子体放电通道，产生并抛出熔化、气化...
- 汪炜张伟洪捐赵尔近张俊清刘正埙
- 文献传递
- 一种激波辅助超短脉冲放电的纳米粒子的制备方法及装置
- 本发明公开了一种激波辅助超短脉冲放电制备纳米粒子的方法及其装置，属于纳米材料技术领域。制备方法是使用超短脉冲电源在加工工件和工具电极之间施加超短脉冲电场，电离、击穿绝缘工作液介质形成等离子体放电通道，产生并抛出熔化、气化...
- 汪炜张伟洪捐赵尔近张俊清刘正埙
