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赵超

作品数:6 被引量:39H指数:3
供职机构:吉林大学电子科学与工程学院更多>>
发文基金:“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域:电子电信理学电气工程更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇理学
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电池
  • 2篇太阳能
  • 2篇退火
  • 2篇热力学
  • 2篇热力学分析
  • 2篇ITO薄膜
  • 1篇低阻
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇电阻
  • 1篇氧空位
  • 1篇应力
  • 1篇应力释放
  • 1篇栅电极
  • 1篇真空
  • 1篇真空退火
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇射线衍射
  • 1篇太阳能电池

机构

  • 6篇吉林大学
  • 2篇中国科学院长...
  • 2篇北方液晶工程...
  • 2篇中国科学院长...
  • 1篇吉林彩晶数码...

作者

  • 6篇赵超
  • 4篇杨柏梁
  • 4篇黄锡珉
  • 2篇王刚
  • 2篇佟富强
  • 2篇孙良彦
  • 2篇徐宝琨
  • 2篇杨柏梁
  • 2篇王刚
  • 1篇王刚
  • 1篇王刚
  • 1篇刘宏宇

传媒

  • 3篇液晶与显示
  • 1篇吉林大学自然...
  • 1篇太阳能学报
  • 1篇化学研究与应...

年份

  • 2篇2000
  • 2篇1999
  • 1篇1992
  • 1篇1990
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
低阻高透过率ITO薄膜的制备与性能被引量:19
1999年
研究了直流磁控溅射法制备的ITO薄膜的光电特性与溅射工艺参数的关系以及退火处理对ITO薄膜光电特性的影响。在低衬底温度、低溅射功率下获得了优质的ITO薄膜,可见光透过率高于85%,在厚度为100nm时其方块电阻在150~200Ω/□之间,并且ITO薄膜的制备工艺完全与AMLCD中TFT器件的制作工艺兼容。
王刚王刚王刚杨柏梁黄锡珉
关键词:直流磁控溅射TIO透过率真空退火
CdS/CdTe太阳电池制备过程的热力学分析
1990年
本文通过热力学理论计算方法,配合实验对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下,温度从600-1100K及不同初如条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图等。这些结果对认识CdS/CdTe太阳电池在烧结制备过程中的反应规律,气、固相物种的存在形态等具有一定的参考价值,较好地解释了实验中观测到的一些现象,对进一步改进制备工艺有一定的指导意义。
高省三徐宝琨杨红佟富强赵超孙良彦
关键词:太阳能电池热力学CDSCDTE
CdS/CdTe太阳电池制备过程的热力学分析
1992年
本文通过热力学理论分析方法,配合实验,对丝网印刷薄膜CdS/CdTe太阳电池制作过程中的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算。给出了体系在常压下、温度从600—1100K及不同初始条件下的各物种的平衡分压图及CdO的产率图等。这些结果对认识CdS/CdTe太阳电池在烧结制备过程中的反应规律以及气、固相物种的存在形态等具有一定的参考价值,较好地解释了实验中观测到的一些现象,对进一步改进制备工艺有一定的指导意义。
高省三徐宝琨杨红佟富强赵超孙良彦
关键词:太阳能电池热力学
ITO退火膜的光学和电学特性被引量:11
1999年
对不同氧流量下用直流磁控溅射法制备的ITO薄膜进行退火处理,并对退火后ITO薄膜的光电特性进行分析.结果表明,N2气氛下退火可以改善ITO薄膜的结晶性,同时使ITO薄膜质量得到优化,并显著提高ITO薄膜的透明性和电导性.
王刚刘宏宇赵超杨柏梁黄锡珉
关键词:ITO薄膜氧空位光学特性电学特性
低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究被引量:2
2000年
研究了溅射Ta膜的电学和结构特性与N2气分压的关系,并确定了电学性能稳定的低阻α-Ta薄膜(电阻率34μΩ·cm)的制备工艺条件。
王刚杨柏梁杨柏梁赵超黄锡珉
关键词:X射线衍射方块电阻
表面无小丘Al双层栅电极结构研究被引量:7
2000年
利用DSC方法研究了纯铝薄膜中的小丘现象,同时制备了Al双层栅电极Ta/Al、Cr/Al和Mo/Al薄膜,并在不同温度下进行了退火处理,研究了双层结构中上层金属(Ta、Cr和Mo)厚度对Al薄膜中小丘的抑制作用。实验结果表明,上层Ta膜厚度在80~90nm左右(在本实验条件下)时,可得到表面无小丘的Ta/Al薄膜栅材料。实验制备的表面无小丘 Ta/Al、 Cr/Al和 Mo/Al等栅电极材料的电阻率均在 7~20μΩ·cm之间,基本满足现今对角线为 25~51cm(10~20in)大屏幕、高清晰度TFT LCD要求。
王刚刘宏宇赵超杨柏梁黄锡珉
关键词:应力释放差热分析
共1页<1>
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