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金小兵

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇激光干涉
  • 2篇激光干涉仪
  • 2篇光干涉仪
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机
  • 2篇硅片
  • 2篇干涉仪
  • 1篇电路
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻机
  • 1篇集成电路

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇金小兵
  • 1篇李小平
  • 1篇陈飞彪

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅片调焦调平测量系统性能测试方法研究
信息产业已经成为我国国民经济发展的支柱产业，集成电路是信息产业的基石，集成电路的发展离不开设计、工艺和装备技术的支持，而投影光刻机是现代集成电路制造的核心装备。因此，研究光刻机核心技术之一的调焦调平测量技术具有理论和实际...
金小兵
关键词：集成电路投影光刻机激光干涉仪
文献传递
硅片调焦调平测量系统测试平台被引量：2
2006年
硅片调焦调平测量系统测试平台用于对光刻机硅片调焦调平测量系统的性能进行检测。该平台模拟硅片调焦调平测量系统在光刻机中的测量对象的运动和工作环境,由三自由度运动台吸附硅片模拟光刻机工件台的垂向运动,采用比较激光干涉仪和硅片调焦调平测量系统同时对硅片测量的结果作为其性能的评估依据。该平台测量精确可靠,可以用于精度、分辨率和重复性等性能指标的检测。
金小兵李小平陈飞彪李志丹肖可云
关键词：光刻机激光干涉仪
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共1页<1>
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