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姚劲

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:江苏省光电信息功能材料重点实验室更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇薄膜生长
  • 2篇AL组分
  • 2篇MOCVD生...
  • 1篇导体
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇ALGAN

机构

  • 2篇中国科学院
  • 2篇江苏省光电信...

作者

  • 2篇张禹
  • 2篇谢自力
  • 2篇姬小利
  • 2篇张荣
  • 2篇江若琏
  • 2篇韩平
  • 2篇修向前
  • 2篇龚海梅
  • 2篇姚劲
  • 2篇郑有炓
  • 2篇李亮
  • 2篇刘启佳
  • 2篇周建军
  • 2篇张曾
  • 2篇刘斌

传媒

  • 1篇激光与红外
  • 1篇第三届全国先...

年份

  • 2篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜被引量:3
2007年
本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同A l组分A lxGa1-xN薄膜(0.13
刘斌张荣谢自力张禹李亮张曾刘启佳姚劲周建军姬小利修向前江若琏韩平郑有炓龚海梅
关键词:ALGAN薄膜生长
MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜
本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同Al组分AlxGa1-xN薄膜(0.13<x<0.8)。扫面电子显微镜(SEM)照片表明生长的AlN插入层有效地调节了AlGaN层与GaN支撑层的应力,...
刘斌姬小利修向前江若琏韩平郑有炓张荣谢自力李亮张曾刘启佳姚劲周建军龚海梅张禹
关键词:半导体薄膜薄膜生长
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