孟丽娜
- 作品数：7 被引量：8H指数：2
- 供职机构：黑龙江大学更多>>
- 发文基金：黑龙江省青年科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求。
- 邱成军刘红梅张辉军赵全亮孟丽娜曹茂盛
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法各向异性刻蚀微驱动器MEMS
- 溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：5
- 2004年
- 采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题。
- 邱成军孟丽娜刘红梅曹茂盛
- 关键词：微驱动器微机械加工
- 基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究
- 本课题根据被动阀微泵的工作原理，提出了一种基于MEMS技术具有V型微阀的新型微驱动器，对微驱动器结构中的PZT复合薄板、微阀的制作、特性进行了工艺模拟，设计了相关制作工艺及版图尺寸，并实现了微驱动器。通过理论分析给出方形...
- 孟丽娜
- 关键词：MEMS微驱动器微泵
- 文献传递
- 微电子机械的V型微阀的制作方法
- 微电子机械的V型微阀的制作方法。本发明包括：选用双面抛光P型(100)硅片厚度为330μm～550μm，双面氧化400nm，低温等离子体化学气相沉积，双面生长Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>200n...
- 邱成军曹茂盛张辉军曲伟孟丽娜
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：2
- 2005年
- 使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜的刻蚀工艺.采用Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构,解决了PZT薄膜制备中存在附着力、抗疲劳等问题,利用BHF/HNO3溶液实现了PZT薄膜刻蚀技术的半导体工艺化.同时详细探讨了微机械加工(MEMS)中温度及溶液浓度对腐蚀工艺的重要影响,给出了硅各向异性腐蚀的最佳化工艺条件.通过以上方法成功地解决了集成制作的无阀型微驱动器的关键工艺问题,降低了器件的复杂性.采用以上工艺得到的驱动器硅杯面积大、均匀、平坦,而且在无阀型微驱动器整体设计中没有可以移动的机械部分,所以微驱动器的寿命也得到了提高.
- 邱成军曹茂盛孟丽娜刘红梅张辉军
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法刻蚀微驱动器MEMS
- 硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器
- 采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有三维立体结构的酞菁锌（ZnPc）薄膜型气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。研究表明:与传统的气体传感器相比,此种传感器具有灵敏度高、响应快、低...
- 孟丽娜邱成军左霞
- 关键词：微加工技术气体传感器
- 文献传递
- 微电子机械的V型微阀及制作方法
- 微电子机械的V型微阀及制作方法，微型阀的性能对微泵的性能指标有直接影响。本产品包括：正单向阀[1]和与正单向阀反向置放的反单向阀[2]，正单向阀和反单向阀全部结构均形成在硅基底上，其中正单向阀[1]包括进水口[3]、进水...
- 邱成军曹茂盛张辉军曲伟孟丽娜
- 文献传递
