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尚乃贵
作品数:
5
被引量:12
H指数:2
供职机构:
香港城市大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
方容川
中国科学技术大学物理学院物理系
廖源
中国科学技术大学物理学院物理系
叶祉渊
中国科学技术大学物理学院物理系
马玉蓉
中国科学技术大学物理学院物理系
王冠中
中国科学技术大学物理学院物理系
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金刚石薄膜
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多晶铜
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显微结构
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纳米材料
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金刚石
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刚石
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薄膜生长
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SEM
机构
3篇
中国科学技术...
2篇
香港城市大学
作者
5篇
尚乃贵
3篇
廖源
3篇
方容川
2篇
孟祥敏
2篇
李述汤
2篇
王冠中
2篇
叶祉渊
2篇
李振声
2篇
马玉蓉
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常超
1篇
易波
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陈金松
1篇
薛剑耿
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崔景彪
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吴气虹
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邵庆益
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牛晓滨
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揭建胜
传媒
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物理学报
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无机材料学报
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材料导报
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电子显微学报
年份
2篇
2002
1篇
2001
1篇
2000
1篇
1998
共
5
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碳片组成的纳米薄膜材料显微结构研究
孟祥敏
尚乃贵
李振声
I.Bello
李述汤
文献传递
计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用
被引量:3
2001年
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
方容川
常超
廖源
叶祉渊
薛剑耿
王冠中
马玉蓉
尚乃贵
牛晓滨
王代冕
吴气虹
揭建胜
关键词:
金刚石薄膜
碳片组成的纳米薄膜材料显微结构研究
2002年
孟祥敏
尚乃贵
李振声
I.Bello
李述汤
关键词:
纳米薄膜材料
显微结构
碳纳米材料
扫描电子显微镜
SEM
金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长
被引量:9
1998年
分别采用99.99%的多晶铜片和99.95%的磷脱氧铜片作为沉积金刚石薄膜的基片,通过热丝化学汽相沉积法在两种基片上都获得了大面积、自支撑的多晶金刚石膜.使用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱和X射线衍射比较分析了两种铜基片上的金刚石膜.脱氧铜上的金刚石膜质量并不亚于多晶铜上的金刚石膜,而且它的成核密度、生长速率以及应力都高于多晶铜上金刚石膜的同类参数.
韩祀瑾
陈金松
方容川
尚乃贵
邵庆益
乐德芬
廖源
叶祉渊
易波
崔景彪
关键词:
多晶铜
金刚石
薄膜生长
原位光发射谱研究横向偏压金刚石薄膜生长过程
2000年
利用热丝CVD方法研究了横向偏压对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验表明,随着偏流的增加,金刚石在光滑硅衬底上的成核密度得到显著提高,最高可达 1.1×108cm-2.,但是横向偏压不利于金刚石薄膜的生长.原位光发射谱研究发现,横向偏流的增加提高了原子氢和CH基团的浓度,导致衬底表面非晶碳层的形成,这可能是造成横向偏压促进金刚石成核却不利于金刚石薄膜生长的主要原因.
廖源
尚乃贵
李灿华
王冠中
马玉蓉
方容川
关键词:
金刚石薄膜
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