张家涛
- 作品数:2 被引量:9H指数:2
- 供职机构:北京理工大学更多>>
- 发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学更多>>
- 从二氰二胺的DMF溶液中电化学沉积氮化碳薄膜被引量:4
- 2003年
- 首次采用二氰二胺的N,N二甲基甲酰胺(DMF)溶液做沉积液,用Si(100)和ITO导电玻璃做基底,在阴极上电化学沉积了CNx薄膜。X射线衍射(XRD)花样说明沉积的CNx薄膜为非晶结构。X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶转换红外光谱(FTIR)分析结果表明CNx样品薄膜的N/C比为0.7左右,碳和氮主要以C—N、C=N的形式成键,有少量的碳和氮以C≡N的形式成键。电阻率测试显示,样品具有较高的电阻率,Si(100)和ITO导电玻璃基底上氮化碳薄膜的电阻率值范围分别为1011~1012Ω·cm和1012~1013Ω·cm。用Si(100)、ITO导电玻璃两种衬底,CNx薄膜的沉积速率、N含量和电阻率不同,说明衬底的选择对沉积过程和沉积膜的性能有重要影响。
- 李超曹传宝吕强张家涛项顼朱鹤孙
- 关键词:氮化碳薄膜电化学沉积二甲基甲酰胺XRDXPSFTIR
- 氮化碳薄膜的电化学沉积及其电阻率研究被引量:7
- 2004年
- 在ITO导电玻璃基底上,采用二氰二胺分散在DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中形成的溶液做沉积液,阴极电化学沉积了CNx薄膜。X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶转换红外光谱(FTIR)的分析结果表明,沉积的CNx薄膜的N/C比为0.7左右,碳和氮主要以C-N、C=N的形式成键,有少量的碳和氮以C≡N的形式成键。拉曼光谱测试发现其存在多个吸收峰,对其进行分析的结果表明薄膜样品中含有α-C3N4和β-C3N4相的成分。电阻率测试表明,氮化碳薄膜的电阻率值达到1012~1013Ω·cm。
- 李超曹传宝吕强张家涛项顼朱鹤孙
- 关键词:氮化碳薄膜电化学沉积电阻率XPSFTIR拉曼光谱