张福昌
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响被引量：2
- 2010年
- 本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响。实验表明,适当的提高沉积温度(650℃)和降低沉积压力(1.5×104Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果。
- 付利刚霍承松张福昌魏乃光王学武吕反修
- 关键词：起拱沉积温度
- CVDZnS微观缺陷分析被引量：5
- 2012年
- 微缺陷对化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)的光学及力学性能有显著影响。对沉积工艺进行了介绍,通过SEM、TEM及金相对CVDZnS中的微缺陷如异常大晶粒、柱状晶、微裂纹、微孔及杂质的结构形态进行了观测,并对形成原因进行了分析:高的沉积生长速率是生成异常大晶粒的主要原因;反应物浓度高加之衬底表面的屏蔽效应及Zn/H2S<1形成结构疏松的柱状晶组织;沉积温度较低加大沉积生长应力,宏观上产生材料的起拱,微观上造成晶粒的弯曲形变,并在晶体内产生大量微裂纹;沉积室局部反应物浓度高导致微孔及杂质的产生,须改善沉积室气体流形提高反应物浓度的均匀性。
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- 关键词：微缺陷
- 化学气相沉积硫化锌中六方相形成机制及抑制方法分析被引量：5
- 2010年
- 六方相ZnS由于光学上的各相异性而在不同晶相上具有不同的折射指数。立方相化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)中的六方杂相加大了对入射光线的散射,严重影响材料本身的光学性能。通过不同实验条件下的对比,对促成立方相形成的机制进行了探讨和分析,证实了六方相的形成主要受沉积温度、沉积压力、Zn/H2S 3个沉积参数的影响。有针对性地提出了综合利用适当提高沉积温度、Zn/H2S和降低沉积压力等方式来抑制六方相生成的方法,制备出不含六方杂相且各向同性的CVDZnS。样品的红外透过率在近红外及中红外波段得到了改善。
- 付利刚霍承松张福昌魏乃光王学武吕反修
- 关键词：抑制方法
- 大尺寸××硫化锌头罩
- 苏小平杨海余怀之张福昌霍承松等
- 大尺寸××硫化锌头罩属于性能优异的宽波段光电窗口材料，在可见光(0.4um)到远红外(12um)范围内都具有良好的透过率和较低的吸收系数，已经在国外高性能光电雷达吊舱窗口和整流罩领域得到广泛应用。采用化学气相沉积工艺制备...
- 关键词：
- 关键词：整流罩
- 热等静压处理(HIP)对CVDZnS物相结构的影响
- 采用X射线衍射(XRD)和红外光谱仪(FTIR)对化学气相沉积ZnS和热等静压处理的多光谱ZnS在物相结构和透过率等方面的变化进行了比较分析。结果表明,原生ZnS中除了立方结构的主相外,还存在具有双折射现象的六方结构杂相...
- 黄万才石红春张福昌鲁泥藕霍承松杨海
- 关键词：热等静压
- 文献传递
- 原生CVD ZnS 6.2μm处吸收峰的消除及机理分析被引量：2
- 2010年
- 原生CVD ZnS的特征之一是由于内部与S空位相关的Zn-H络合物的存在而在6.2μm处形成吸收峰。相对较低的沉积温度和较高的沉积压力以及Zn/H2S是产生这一问题的主要原因。通过改进实验参数(沉积温度、沉积压力、Zn/H2S),能够制备出与经过HIP处理过的ZnS一样的无Zn-H络合物的原生ZnS。本文依据Zn-H络合物产生的原因对沉积温度、压力等作用机理进行了分析,总结出进一步提高CVD ZnS质量的方法。
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- 关键词：ZNS
