张立佳
- 作品数：75 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信经济管理电气工程文化科学更多>>
- 超细粉末的制备装置和制备方法
- 本发明涉及超细粉末的制备装置和制备方法，制备装置包括真空腔室、将金属细丝送入真空腔室的送丝机构、将金属细丝尖端熔融的加热器、使熔融态金属形成脉冲金属液滴的激振器；将金属液滴分散成金属微滴的激光组件，向真空腔室内充入将金属...
- 罗艳吴晓斌王魁波谢婉露张罗莎张立佳
- 一种激光相干长度的调控装置和激光器
- 本发明公开了一种激光相干长度的调控装置，用于调控激光器的激光相干长度，所述激光器包括输出耦合镜、增益介质和线宽压窄模块，该调控装置包括标准具、分光片、相干长度检测元件和相干长度反馈控制系统，分光片用于将所述激光器输出的激...
- 范元媛周翊赵江山李慧崔惠绒沙鹏飞王倩宋兴亮张立佳蔡茜玮鲍洋
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- 一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法
- 本发明公开了一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法，包括清洗陶瓷零件，将陶瓷零件装配至三维移动平台；扫描所述陶瓷零件的表面轮廓，将所扫描的轮廓模型与标准模型相对比，划分出所述陶瓷零件表面的刻蚀区、抛光区、烧结区；利用准分子激光...
- 郭馨周翊丁金滨刘斌张立佳王宇赵江山齐威
- 文献传递
- 多元合金薄膜的制备装置及其制备方法
- 本发明涉及多元合金薄膜的制备装置及其制备方法，制备装置包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元，数据采集控制单...
- 吴晓斌罗艳王宇王魁波谢婉露张罗莎张立佳
- 基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器
- 本实用新型公开了一种基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器，所述包括激光器包括输出耦合镜、增益介质和线宽压窄模块，该装置包括法布里‑珀罗标准具、分光片、相干长度检测元件和相干长度反馈控制系统，分光片用于将所述...
- 范元媛周翊赵江山李慧崔惠绒沙鹏飞王倩宋兴亮张立佳蔡茜玮鲍洋
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- 具有微流道结构的放电腔及气体激光器
- 本发明公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流...
- 刘斌丁金滨张立佳赵江山周翊王宇
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- 一种用于准分子激光器的贯流式风机叶轮
- 本实用新型公开了一种用于准分子激光器的贯流式风机叶轮，所述贯流式风机叶轮包括若干节叶轮单元，所述若干节叶轮单元中的每个叶轮单元包含有若干叶片，所述叶片按照圆周方式分布，叶片两端面固定在两侧中盘上，所述叶片具有非均匀的厚度...
- 李慧陈进新贺跃坡赵江山周翊张立佳崔惠绒
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- 光刻设备知识产权战略研究被引量：2
- 2019年
- 我国高端集成电路(IC)产业严重受限于落后的光刻制造装备技术和产业,2016年进口约2 271亿美元,制约了我国电子信息产业的升级,成为重大的国家安全隐患。习近平主席说"实践反复告诉我们,关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的",2008年以来我国启动科技重大专项"极大規模集成电路制造装备及成套工艺"(02专项),展开IC光刻制造装备及工艺关健技术攻关。通过对国际上先进光刻设备制造企业知识产权战略研究,调研其专利形成的关键技术模块,寻找我国光刻制造业研发的潜在技术入口,提高创新起点,引导研发活动向具有自主创新的目标,集中力量在光刻机国际前沿技术上有所突破,创造更多的自主知识产权。
- 张立佳齐月静齐月静李国和郭馨李国和崔惠绒李慧
- 关键词：光刻设备知识产权
- 准分子激光器窗片的更换装置和更换方法
- 本发明一种涉及准分子激光器窗片的更换装置及其更换方法，包括一端开口的更换主腔体，更换主腔体的腔壁设有多个用于观测更换主腔体内部的观察窗、用于检测更换主腔体内部气压的气压计、抽真空通道、充气通道、多个指套孔和窗片室，抽真空...
- 郭馨丁金滨刘斌张立佳白路军王宇崔惠绒
- 一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块
- 本发明涉及一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块，该检测模块包括进气管，进气电磁阀，气体室，压力检测器，质谱分析仪，计算机，真空泵，真空管道电磁阀，卤素气体处理器，惰性气体管道和惰性气体电磁阀。并通过该检测模块实现了...
- 郭馨丁金滨周翊王宇张立佳刘斌崔惠绒
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