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朱明海
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
长春理工大学理学院
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发文基金:
吉林省环保局科技项目
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相关领域:
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合作作者
龚楠
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冯禹
长春理工大学理学院
陈广彬
长春理工大学理学院
汪剑波
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2014
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磁控溅射制备Ti-Zn-O复合薄膜及其光学性质研究
被引量:1
2014年
TiO2是作为一种宽禁带半导体材料可作为紫外器件,但因其间接带隙结构、禁带宽度仅为3.0eV等特点,严重影响其应用范围。本文利用共溅射技术,通过Zn掺杂,在K9玻璃基底上制备了Ti-Zn-O复合薄膜,并研究了Zn溅射功率对其结构及光学性质的影响。结果显示:所制备的薄膜为ZnTiO3和不饱和TiO2的复合结构,随着Zn粒子的溅射能量增加,晶粒尺寸和表面粗糙度增加,并可将薄膜本征吸收边蓝移至3.61eV。
朱明海
陈广彬
冯禹
龚楠
汪剑波
关键词:
磁控溅射
禁带宽度
磁控溅射制备金属掺杂氧化钛薄膜及其光学性质研究
二氧化钛(TiO2)由于具有化学性质稳定,光学特性明显和价格低廉等显著特点,在光学、光电子学及电子学等诸多科学领域内具有广泛的应用。然而,TiO2属于宽禁带(Eg=3.0eV-3.2eV)、间接带隙半导体材料,在应用过程...
朱明海
关键词:
磁控溅射
二氧化钛薄膜
禁带宽度
金属掺杂
光学性质
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