李俊红
- 作品数：85 被引量：60H指数：5
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院重点部署项目中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
- 本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，MEMS压电矢量水听器包括：1-3个后置放大电路、灌封结构以及1-3个压电传感芯片。1-3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构，其中，每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压...
- 李俊红汪承灏魏建辉马军任伟
- 新型MEMS压电矢量水听器
- 2023年
- 对一种具有U形槽或双U形槽结构的MEMS压电式矢量水听器进行了仿真分析与优化,采用微机械加工技术研制出水听器芯片,并对芯片进行了封装与性能测试。提出了理论灵敏度和能量综合分析的方法,在考虑杂散电容的情况下,对敏感结构进行了更加精确的优化。从实验结果可以看出,所提出的优化方法比仅考虑理论灵敏度的传统优化方法具有更高的准确度。此外,具有双U形槽结构的矢量水听器的灵敏度比传统的单臂悬臂梁结构的灵敏度高约5.9 dB,并且具有良好的指向性。
- 樊青青李俊红翟禹光马军
- 关键词：杂散电容矢量水听器压电式
- 软支撑桥式硅微压电传声器芯片及其制备方法
- 一种软支撑桥式硅微压电传声器芯片包括：中心设由上小下大方锥形孔的硅基片，其正面覆有由第一氮化硅膜层、二氧化硅膜层和第二氮化硅膜层构成的方形复合振动膜，硅基片背面依次覆有第三和第四氮化硅膜层；第三和第四氮化硅膜层有中心方孔...
- 李俊红汪承灏刘梦伟徐联
- 文献传递
- 双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片的制备方法
- 本发明涉及一种双质量块多边形结构的MEMS压电矢量水听器芯片的制备方法。包括加工衬底硅基片、压电复合悬臂结构、多边环形支撑结构、上下质量块。所述压电复合悬臂结构包括一体化的：悬臂中心和多条压电复合悬臂梁；所述压电复合悬臂...
- 樊青青邓威李俊红遆金铭余卿汪承灏
- 一种十字形板状MEMS压电指向性传感芯片
- 本发明涉及一种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片。包括：8个压电弹性复合支撑结构(a)、十字形板状结构(b)、带有空腔的硅基底层(c)及支撑件(d)。每个压电弹性复合支撑结构(a)被设计在对应的位置。采用十字形板...
- 翟禹光李俊红樊青青王文汪承灏
- 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
- 本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，MEMS压电矢量水听器包括：1‑3个后置放大电路、灌封结构以及1‑3个压电传感芯片。1‑3个后置放大电路被相互垂直放置在灌封结构，其中，每个后置放大电路上粘贴并焊接一个压...
- 李俊红汪承灏魏建辉马军任伟
- 文献传递
- 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
- 本发明涉及一种具有串联结构的MEMS压电矢量水听器，包括：1-3个传感单元和灌封结构，1-3个传感单元被相互垂直放置在灌封结构；其中，每个传感单元包括至少两个压电传感芯片、绝缘板和后置放大电路，至少两个压电传感芯片串联焊...
- 汪承灏李俊红魏建辉马军任伟
- 应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性被引量：2
- 2008年
- 采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器。X射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.1624°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面。体声波器件的电学测试结果显示器件具有很好的多模谐振特性,说明ZnO压电薄膜很好地激发出了厚度方向的纵声波,可应用于体声波器件和声表面波器件中。另外采用间接的方法得到ZnO压电薄膜在870MHz时的介电常数约为5.24,介电损耗因子为1.07,进一步减小介电损耗因子,可以提高器件的Q值。
- 汤亮李俊红郝震宏乔东海汪承灏
- 关键词：氧化锌薄膜压电磁控溅射X射线衍射体声波谐振器
- 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法
- 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法属于硅微压电传声器技术领域，其特征在于：硅微压电传声器由从上到下依次放置的电极、面内极化的铁电PZT膜层、氧化锆过渡层、振动膜层、高温二氧化硅圆形倒模层、体硅刻蚀方...
- 刘梦伟汪承灏李俊红
- 文献传递
- 软支撑桥式硅微压电超声换能器芯片及其制备方法
- 一种软支撑桥式硅微压电超声换能器芯片，其包括：中心设上小下大方锥形孔的硅基片；其正面依次覆有硅层和第一氧化层，背面覆有第二氧化层；硅基片正面方孔之上对应的硅层和第一氧化层构成为方形振动膜，方形振动膜的一对对边分别刻蚀一条...
- 李俊红汪承灏刘梦伟徐联
- 文献传递
