黄歆
- 作品数：30 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法
- 本发明涉及一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法。该芯片包括一n-型硅基片，在其正面扩散硼形成p+型搀杂层，在该层上面沉积二氧化硅、刻蚀成隔离层，在其上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜，并光刻、腐蚀成圆形铝膜...
- 徐联汪承灏魏建辉黄歆李俊红
- 文献传递
- 压电晶体表面激发的赝表面声波Green函数
- 2004年
- 赝表面声波(PSAW)是各向异性介质和压电介质中存在的一种特殊的表面波模式,它在声表面波技术中有重要的应用。基于我们发展的压电晶体表面激发理论,对压电晶体表面激发产生的赝表面波Green函数和相应的赝表面波波场给出了解析表达式。在分析了赝表面波Green函数存在的条件和性质后。结果给出了石英和LiNbO3赝表面波的Green函数数值计算。
- 汪承灏黄歆
- 关键词：压电晶体格林函数石英铌酸锂
- 压电晶体表面高速声学模式
- 2000年
- 由于超高频声表面波器件的广泛应用 ,导致人们去寻求表面高速声学模式 .根据表面瞬态激发理论 ,在压电晶体表面存在表面高速声学头波 (SHVHW)模式 ,这种模式以沿表面纵波的群速度传播 ,而且与表面是自由的或者是金属化的没有关系 ,即不存在所谓Δv/v效应 .另外一方面 ,有人却认为它是一种高速伪表面波 (HVP SAW)模式或表面纵漏波模式 ,它们的传播速度接近表面纵体波的速度 ,且它们在表面自由和金属化时 ,其传播速度有差异 ,即存在所谓Δv/v效应 .对一些常用晶体进行了实验研究 .结果表明所存在的表面高速模式是表面高速头波 ,而不是高速伪表面波 .
- 汪承灏黄歆许钊庚应崇福
- 关键词：压电晶体
- 具有高灵敏度的用于硅微电容传声器的芯片及其制备方法
- 本发明涉及一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法。该芯片包括一n－型硅基片，在其正面扩散硼形成p+型搀杂层，在该层上面沉积二氧化硅、刻蚀成隔离层，在其上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜，并光刻、腐蚀成圆形铝膜...
- 徐联汪承灏李晓东魏建辉黄歆
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- 具有高灵敏度的用于硅微电容传声器中的芯片
- 本实用新型涉及具有高灵敏度的用于硅微电容传声器中的芯片，包括一n－型硅基片，在硅基片的正面扩散硼形成p+型搀杂层，在其上通过沉积二氧化硅并光刻、腐蚀成隔离层，在隔离层上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜和方形铝电极...
- 徐联汪承灏魏建辉黄歆李俊红
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- 一种用于硅微电容传声器中的芯片
- 本实用新型涉及一种用于硅微电容传声器中的芯片及其制备方法。该芯片包括一n－型硅基片，在其正面扩散硼形成p+型搀杂层，在该层上面沉积二氧化硅、刻蚀成隔离层，在其上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜，并光刻、腐蚀成圆形...
- 徐联汪承灏黄歆魏建辉李俊红
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- 压电晶体高速头波的Green函数
- 1.引言 文献给出了在压电晶体半空间,对自由和金属化表面两种边界条件下,弹性波场表面稳态激发的普适理论。这个理论简要说是指,广义弹性波场是广义Green函数和广义力的卷积,而广义Green函数与激发条件无关,只取决于材料...
- 黄歆汪承灏应崇福
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- 压电晶体高速表面声学模式及相关基础问题的研究
- 该文围绕压电晶体半空间上的高速表面声学模式热点问题,对表面波模式进行了界定,又发展了压电晶体表面激发的Green函数理论,给出了伪(漏)表面波及纵波头波的Green函数,从而形成更完整的压电晶体表面激发理论系统.并由此判...
- 黄歆
- 关键词：声表面波GREEN函数
- 文献传递
- 适用于SOC的声、热、力微传感器系统基础研究
- 田静徐联黄歆乔东海马军金国华李俊红邓英魏建辉
- 1 硅微电容传声器：硅微电容传声器即将成为继喷墨打印头、汽车防撞气囊用加速度计之后第三种大规模产业化的MEMS产品，可望克服近来实用MEMS领域进展缓慢的颓势，意义十分重大。本工作创新地提出了圆形振动膜结构硅微电容传声器...
- 关键词：
- 关键词：电容传声器微传声器
- 一种传声器芯片制备方法
- 本发明涉及传声器芯片制备方法，包括一n-型硅基片，在硅基片的正面扩散硼形成p+型搀杂层，在其上通过沉积二氧化硅并光刻、腐蚀成隔离层，在隔离层上附着一振动膜层，振动膜层之上沉积金属铝膜和方形铝电极；在硅基片的反面有一层氮化...
- 徐联汪承灏黄歆魏建辉李俊红
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