李荣
- 作品数：4 被引量：7H指数：1
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：西安市科技创新支撑计划基金陕西省国际科技合作计划国家科技部专项基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- TiO_2/ZrO_2复合薄膜的制备及工艺参数对薄膜折射率的影响被引量：6
- 2010年
- 采用电子束蒸发混合膜料的方法制备了TiO2/ZrO2复合薄膜,研究了工艺条件(气体流量、沉积速率、基片温度、组份比)对其光学特性的影响。采用椭偏法测量了薄膜的折射率,分析了不同配比复合薄膜的色散特性,得出工艺参数与薄膜光学性能的相互关系,实现了不同折射率的配比。研究结果表明,无论TiO2/ZrO2摩尔比为1:1,1:2还是2:1,其折射率均随沉积温度的升高而增大,但温度升高致使薄膜折射率变化的幅度不大;复合薄膜的折射率随真空度的降低而降低;随着束流从100到160mA增加,复合薄膜的折射率从2.1699到2.2439略微增加;当TiO2/ZrO2比例分别为1:2,1:1和2:1时,薄膜的折射率相应为2.0886,2.1436和2.2584(d光),表明采用工艺优化和蒸镀混合膜料的方法实现折射率的配比仍然是一种行之有效的方法。
- 徐均琪李荣苏俊宏惠迎雪
- 关键词：复合膜折射率
- 光学介质薄膜抗激光损伤特性的研究
- 2010年
- 采用离子束辅助沉积的方式镀制了几种介质膜料的单层膜。利用1.064μm调Q Nd:YAG脉冲激光器,对它们的损伤特性进行了研究。观察并讨论了在不同激光能量下薄膜的损伤现象,同时利用TaylorHobson干涉仪检测了薄膜表面的粗糙度变化。研究表明,在不同的激光能量下,单层HfO2薄膜出现了不同的损伤形态,且表面粗糙度随着激光能量的增加有正相关的变化;在同一激光能量下,不同工艺条件制备的HfO2薄膜有不同程度的损伤,可以得到较好的制备工艺参数;三种不同的氟化物薄膜即氟化镁(MgF2)、氟化钡(BaF2)、氟化钇(YF3)在相同的激光能量下,也出现了不同的损伤形貌,得出了损伤阈值高的薄膜是氟化钇薄膜。
- 李荣徐均琪苏俊宏杭凌侠
- 关键词：激光损伤
- 光学介质薄膜的激光损伤特性研究
- 光学薄膜元件是激光系统中极其重要的组成部分，对于大功率高能量激光系统来说，激光薄膜的性能一直是限制其向更高能量或更高功率发展的瓶颈之一。同时，薄膜元件也是红外窗口及导弹导引头等的重要组成部分，激光武器对薄膜元件的破坏可能...
- 李荣
- 关键词：光学材料介质薄膜激光损伤薄膜光学
- 文献传递
- 光学介质薄膜抗激光损伤特性的研究
- 在强激光系统或者军事方面,薄膜光学元件的损伤阈值不仅是限制激光系统功率密度提高的瓶颈之一,也对激光武器和卫星通信等有着重要的战略意义。而影响薄膜激光损伤阂值的因素有:①基体材料、镀膜材料、膜层组合;②镀膜工艺、基片处理、...
- 李荣徐均琪
- 关键词：光学常数损伤阈值损伤形貌
- 文献传递
