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王毅

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇石墨
  • 4篇石墨烯
  • 2篇电极
  • 2篇条带
  • 2篇图案化
  • 2篇六角形
  • 2篇纳机电系统
  • 2篇金属
  • 2篇金属电极
  • 2篇开关
  • 2篇开关器件
  • 2篇刻蚀
  • 2篇机电系统
  • 2篇各向异性刻蚀
  • 2篇构型
  • 2篇电系统
  • 1篇PLASMA
  • 1篇REMOTE
  • 1篇TUNNEL...
  • 1篇DEPOSI...

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇时东霞
  • 5篇王毅
  • 5篇张广宇
  • 5篇杨蓉
  • 3篇史志文
  • 3篇张连昌
  • 1篇王多明

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种对石墨或石墨烯进行各向异性刻蚀的方法
本发明公开了一种对石墨或石墨烯进行各向异性刻蚀的方法，以利用这种方法来实现石墨烯晶向定位、石墨烯的加工剪裁及图案化，该方法包括：采用含氢等离子体对石墨或石墨烯的表面进行各向异性刻蚀，在石墨或石墨烯表面形成多个规则的六角形...
张广宇时东霞杨蓉王毅张连昌
文献传递
纳米石墨烯的生长、表征、以及性质研究
系统地研究了在氧化硅衬底上纳米石墨烯的无催化剂直接生长.这种生长方式可以在相对较低的温度(大约550℃)下以甲烷气体作为碳源,采用远程等离子体增强化学气相沉积系统而实现.通过原子力显微镜,拉曼光谱,X射线光电子能谱,以及...
杨威时东霞张广宇何聪丽张连昌王毅史志文成蒙谢贵柏王多明杨蓉
关键词：NANOGRAPHENEREMOTEPLASMADEPOSITIONTUNNELINGSTRAIN
石墨烯纳机电系统开关器件
本发明公开了一种石墨烯纳机电系统开关器件，包括：一U形沟槽结构；制作于该U形沟槽结构两侧边端部的两个金属电极，该金属电极作为源极；制作于该U形沟槽结构沟内底面中心的一接触电极，该接触电极作为漏极；基底作为栅极，源极与栅极...
张广宇时东霞史志文杨蓉王毅
一种对石墨或石墨烯进行各向异性刻蚀的方法
本发明公开了一种对石墨或石墨烯进行各向异性刻蚀的方法，以利用这种方法来实现石墨烯晶向定位、石墨烯的加工剪裁及图案化，该方法包括：采用含氢等离子体对石墨或石墨烯的表面进行各向异性刻蚀，在石墨或石墨烯表面形成多个规则的六角形...
张广宇时东霞杨蓉王毅张连昌
石墨烯纳机电系统开关器件
本发明公开了一种石墨烯纳机电系统开关器件，包括：一U形沟槽结构；制作于该U形沟槽结构两侧边端部的两个金属电极，该金属电极作为源极；制作于该U形沟槽结构沟内底面中心的一接触电极，该接触电极作为漏极；基底作为栅极，源极与栅极...
张广宇时东霞史志文杨蓉王毅
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