您的位置： 专家智库 > >

符晓荣

作品数：6 被引量：36H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇氧化镁
  • 2篇溶胶
  • 2篇喷雾热分解
  • 2篇喷雾热分解法
  • 2篇硅
  • 1篇导体
  • 1篇导体材料
  • 1篇低功耗
  • 1篇低压低功耗
  • 1篇电路
  • 1篇应力
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇溶胶凝胶
  • 1篇溶胶凝胶法
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电薄膜
  • 1篇退火
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇热退火

机构

  • 6篇中国科学院上...
  • 4篇北京石油化工...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇微电子有限公...

作者

  • 6篇林成鲁
  • 6篇符晓荣
  • 4篇武光明
  • 3篇多新中
  • 2篇宋志棠
  • 1篇宋世庚
  • 1篇刘卫丽
  • 1篇王连卫

传媒

  • 1篇核技术
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇功能材料
  • 1篇材料研究学报
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇电子元器件应...

年份

  • 3篇2000
  • 3篇1999
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响被引量：1
2000年
用Ｘ射线四晶衍射仪测量了不同温度下退火的注氢单晶硅的摇摆曲线，分析了不同温度退火后晶格内应力产生及消失的过程。并与离子背散射沟道分析进行了比较。结果表明，在４００℃左右，氢注入形成的氢复合体分解；形成氢分子，氢分子在晶格中聚集，生成氢气，在高温下膨胀，引起晶格形变，并产生缺陷；当退火温度达到５００℃以后，氢气的膨胀已超过晶体的屈服强度，产生了大量的缺陷、位错，同时在硅晶体内形成气泡，并在硅晶体表面造成砂眼、剥离等现象。
多新中刘卫丽张苗高剑侠符晓荣林成鲁
关键词：硅热退火应力晶体结构
溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究被引量：7
1999年
本文采用非金属醇盐以醋酸镁为起始原料，胶棉液为添加剂，在Ｓｉ（１００） 衬底上成功地制备了ＭｇＯ 薄膜。结果表明，薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关。同时，用Ｘ射线衍射（ ＸＲＤ） 、原子力显微电镜（ＡＦＭ） 和透射电镜（ ＴＥＭ） 对薄膜的微观结构进行了分析。这种制备ＭｇＯ 薄膜的新方法还未见有报道。
武光明符晓荣林成鲁
关键词：溶胶-凝胶法氧化镁
喷雾热分解法制备MgO薄膜的研究被引量：3
1999年
用简单的压缩空气式喷雾热分解法以醋酸镁为原料在Ｓｉ（１００） 衬底上成功地制备了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。结果表明，为获得（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜，衬底温度和喷雾速率是关键因素。控制实验条件，在６０００Ｃ得到了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。同时，用Ｘ 射线衍射（ＸＲＤ） 、原子力显微镜（ＡＦＭ） 和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析。
符晓荣武光明宋世庚宋志棠高剑侠林成鲁
关键词：氧化镁喷雾热分解
SOI—实现低压低功耗集成电路的新技术
2000年
近来,IBM公司利用绝缘层上的硅(SOI)技术成功研制出高速、低功耗的微电子主流产品微处理器等高性能芯片,该芯片不仅工作速度显著提高,功耗也大幅度下降,充分显现了SOI技术的优越性。这也预示着SOI技术将逐步走向商业应用。SOI技术最突出的优点是能够实现低电压、低功耗驱动。本文介绍了市场对低压、低功耗电路的需求,分析了SOI技术实现低压、低功耗电路的工作原理,综述了当前SOI低压、低功耗电路发展的新动向。
黄继颇多新中张苗王连卫符晓荣林成鲁
关键词：低功耗集成电路
新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究被引量：22
1999年
以硝酸镁为起始原料，胶棉液为添加剂，在Ｓｉ（１００）衬底上成功地制备ＭｇＯ薄膜，结果表明，胶棉液是形成ＭｇＯ溶胶的关键组份；薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关．同时，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析．
符晓荣宋志棠多新中林成鲁武光明
关键词：溶胶凝胶法纳米级
用喷雾热分解法制备MgO薄膜被引量：9
2000年
用压缩空气式喷雾热分解法在 Ｓｉ（１００）衬底上制备了（１００）取向 ＭｇＯ薄膜．结果表明，衬 底温度和喷雾速率是制备（１００）取向 ＭｇＯ薄膜的关键问素在 ６００℃得到了（１００）取向的 ＭｇＯ薄 膜，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）。
武光明符晓荣宋世庚林成鲁
关键词：氧化镁喷雾热分解超导体材料铁电薄膜
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0