赵龙
- 作品数：13 被引量：40H指数：4
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金中国工程物理研究院预先研究基金武器装备预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器
- 2006年
- 简单介绍了Silicon Design公司开发的非硅MEMS传感器的设计、工艺、输出信号的处理技术。通过巧妙设计和使用铸Ni技术成功地改善了梁的扭摆特性。实测结果表明,10g产品的输出交流噪声有效值和漂移被分别控制在0.4mV和4 mV;50g产品虽然漂移偏大,但其线性系数K2还是达到了10-3～10-4的水准。
- 彭勃袁明权赵龙
- 关键词：微电铸加速度传感器漂移残差
- 应用微波复合介质基片制造微带电路技术
- 张茜梅赵龙
- 微机械G开关的研制被引量：10
- 2005年
- 设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触点构成,在外界加速度作用下,检测质量块发生位移,完成与触点的接通。经离心测试,在通电0.8A情况下,接通门限值为2.8gn,接通电阻为0.6Ω;经振动测试,不响应高于85Hz的高频振动,在5×104gn高冲击下,测试未见损坏。
- 陈光焱吴嘉丽赵龙
- 关键词：触点
- 四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关被引量：2
- 2006年
- 基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和圆弧形双梁机构在实现双稳态功能上的差异.采用湿法腐蚀钼片制作原理样品,其中余弦形双梁机构样品具有双稳态效应和闭合锁定功能.经离心测试,开关闭合阈值加速度为15gn,闭合电阻为2Ω;冲击实验表明在脉宽12ms幅度50gn的半正弦冲击下样品不会闭合;振动实验表明样品可通过三个方向各5min的量级为0.2g2n/Hz的振动测试而不破坏.
- 陈光焱郑英彬赵龙武蕊
- 关键词：惯性力双稳态MEMS
- 应用微波复合介质基片制造微带电路技术
- 本文详细叙述了采用微电子平面工艺应用新型材料微波复合介质基片制作微带电路的工艺技术,介绍了主要工艺技术以及测量方法等．
- 张茜梅赵龙
- 关键词：微带线微带电路
- 文献传递
- 无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计被引量：3
- 2009年
- 为了解决"三明治"这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70 g和±5 g两种不同量程的微加速度计。样品测试表明,利用这项技术所制作的微加速度计相对精度皆优于1×10–4。其中,±70 g量程的残差可控制在7 mg以内,非线性可达0.02%;±5 g量程的残差在0.4 mg左右。
- 袁明权彭勃赵龙武蕊唐海林席仕伟谭刚
- 关键词：微电子机械系统微加速度计微机械加工残差
- 准LIGA微加速度开关的研制
- 阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算,确定了合适的结构参数;以硼硅玻璃为基底,采用准LIGA和牺牲层技术,分三层制...
- 陈光焱何晓平施志贵丁元萍赵龙
- 关键词：加速度开关有限元软件结构参数开关性能
- 文献传递
- 准LIGA微加速度开关的研制被引量：10
- 2003年
- 阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁 /解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程。设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算 ,确定了合适的结构参数 ;以硼硅玻璃为基底 ,采用准LIGA和牺牲层技术 ,分三层制作完成。经测试 ,开关性能较好 。
- 陈光焱何晓平施志贵丁元萍赵龙
- 关键词：微加速度开关牺牲层ANSYS
- 基于阿基米德螺旋线的低g值微惯性开关(英文)被引量：13
- 2009年
- 低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置。由于微小尺寸的限制,低g值(1-30g)惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构。为了获得低刚度,设计了基于阿基米德螺旋线的平面螺旋梁结构。微开关由一个带触点的基座、一个惯性敏感单元以及框架和封盖组成。惯性敏感单元则由一个居中的质量块和支撑它的螺旋梁组成。在加速度作用下可动的质量块发生位移,与其下的触点接触,实现开关的闭合。惯性敏感单元采用有限元软件ANSYS进行分析,采用UV-LIGA工艺制作。进行了离心试验以获得低g值惯性开关的闭合门限。经3次测试,闭合门限值分别为21.22 ,21 .39和21.20g,平均值为21.27g。测试结果表明,低g值惯性开关具有0.5g的闭合精度,多次测试重复性较好。
- 陈光焱吴嘉丽赵龙王超
- 关键词：惯性开关微机电系统
- MEMS THz滤波器的制作工艺被引量：3
- 2011年
- 基于MEMS技术制作了太赫兹（THz）滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。
- 郑英彬施志贵席仕伟赵龙李红赵兴海
- 关键词：滤波器干法刻蚀
