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卞建涛

作品数：11 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇离子
  • 6篇衬底
  • 6篇弛豫
  • 5篇氢离子
  • 4篇退火
  • 4篇迁移
  • 4篇迁移率
  • 4篇热退火
  • 4篇快速热退火
  • 3篇半导体
  • 2篇选择性
  • 2篇载流子
  • 2篇载流子迁移率
  • 2篇抛光
  • 2篇抛光工艺
  • 2篇缺陷密度
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘体
  • 2篇刻蚀
  • 2篇寄生电容

机构

  • 11篇中国科学院
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国极地研究...

作者

  • 11篇卞建涛
  • 10篇狄增峰
  • 10篇姜海涛
  • 10篇张苗
  • 8篇薛忠营
  • 6篇陈达
  • 6篇刘林杰
  • 4篇高晓强
  • 4篇王曦
  • 2篇魏星
  • 1篇李钏
  • 1篇韩安军

传媒

  • 1篇极地研究

年份

  • 1篇2020
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 5篇2013
  • 1篇2012
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种直接带隙Ge薄膜的制备方法及层叠结构
本发明提供一种直接带隙Ge薄膜的制备方法及层叠结构，所述制备方法是首先在GaAs衬底上分别外延出In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>As层和Ge层，其中，0.223﹤x≤1，并使In<Sub>x<...
张苗刘林杰狄增峰薛忠营陈达卞建涛姜海涛高晓强
文献传递
一种制备半导体弛豫、应变材料并使其层转移的方法
本发明提供一种制备半导体弛豫、应变材料并使其层转移的方法，首先在Si衬底上依次外延生长中间薄层、Si外延层、及顶Si<Sub>1-x</Sub>Ge<Sub>x</Sub>层，其中Ge组分x为0﹤x≤0.5，并使Si<S...
张苗刘林杰卞建涛陈达姜海涛薛忠营狄增峰
文献传递
一种CMOS器件及其制作方法
本发明提供一种CMOS器件及其制作方法，于具有SiO<Sub>2</Sub>层的Si衬底中分别形成第一深度的第一凹槽及大于所述第一深度的第二深度的第二凹槽，于所述第一凹槽及第二凹槽内分别形成Ge层、止刻层以及Ⅲ-Ⅴ族半导...
姜海涛狄增峰卞建涛薛忠营魏星张苗王曦
文献传递
一种直接带隙Ge薄膜的制备方法及层叠结构
本发明提供一种直接带隙Ge薄膜的制备方法及层叠结构，所述制备方法是首先在GaAs衬底上分别外延出In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>As层和Ge层，其中，0.223﹤x≤1，并使In<Sub>x<...
张苗刘林杰狄增峰薛忠营陈达卞建涛姜海涛高晓强
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一种张应变Ge薄膜的制备方法及层叠结构
本发明提供一种张应变Ge薄膜的制备方法及层叠结构，所述制备方法首先在GaAs衬底上分别外延出In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>As层和顶层Ge薄膜，所述In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>...
张苗刘林杰狄增峰高晓强陈达薛忠营姜海涛卞建涛
文献传递
一种CMOS器件及其制作方法
本发明提供一种CMOS器件及其制作方法，于具有SiO<Sub>2</Sub>层的Si衬底中分别形成第一深度的第一凹槽及大于所述第一深度的第二深度的第二凹槽，于所述第一凹槽及第二凹槽内分别形成Ge层、止刻层以及Ⅲ-Ⅴ族半导...
姜海涛狄增峰卞建涛薛忠营魏星张苗王曦
一种张应变Ge薄膜的制备方法及层叠结构
本发明提供一种张应变Ge薄膜的制备方法及层叠结构，所述制备方法首先在GaAs衬底上分别外延出In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1-x</Sub>As层和顶层Ge薄膜，所述In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>...
张苗刘林杰狄增峰高晓强陈达薛忠营姜海涛卞建涛
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一种混合晶向绝缘体上锗晶片及器件的制备方法
本发明提供一种混合晶向绝缘体上锗晶片及器件的制备方法，通过在绝缘层上形成生长窗口在具有第一晶向的衬底上形成具有第二晶向的全局GOI，然后在具有第二晶向的衬底上形成具有第二晶向的Ge层，以制备出混合晶向绝缘体上锗晶片。在具...
姜海涛张苗狄增峰卞建涛王曦
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南极泰山站多能互补微电网系统研究及实证被引量：4
2020年
针对南极泰山站极寒、大风、高原缺氧等极端气候条件,设计高可靠性、高耐候性微电网系统整体架构,根据现场使用环境,研究并仿真计算了微电网系统的必要运行参数和安装实施方式。泰山站多能互补微电网系统研制突破了极端气候条件下太阳能和风能发电能力设计、光伏板防堆雪设计、多能互补微电网系统控制设计等关键技术,研究设计了在无人值守条件下能够自主运行的智能控制平台,通过并网运行与离网运行两种控制模式,构建了高效稳定的风、光、燃、储多能互补型智能微电网系统。系统安装在南极泰山站现场进行了验证性试运行,结果表明微电网系统的各项功能指标均能达到设计要求。南极泰山站多能互补微电网系统的验证性建设和成功试运行为我国在极地地区开展可再生能源利用起到良好的探索和示范作用。
吕冬翔李钏王哲超姚旭魏福海李钊韩安军卞建涛
关键词：风能太阳能微电网系统
一种制备半导体弛豫、应变材料并使其层转移的方法
本发明提供一种制备半导体弛豫、应变材料并使其层转移的方法，首先在Si衬底上依次外延生长中间薄层、Si外延层、及顶Si<Sub>1-x</Sub>Ge<Sub>x</Sub>层，其中Ge组分x为0﹤x≤0.5，并使Si<S...
张苗刘林杰卞建涛陈达姜海涛薛忠营狄增峰
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