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坂本幸弘

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：日本千叶工业大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇微波
  • 1篇微波法
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇MWPCVD

机构

  • 1篇吉林大学
  • 1篇日本千叶工业...

作者

  • 1篇吕宪义
  • 1篇邹广田
  • 1篇坂本幸弘
  • 1篇高谷松文
  • 1篇金曾孙
  • 1篇顾长志

传媒

  • 1篇科学通报

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜被引量：2
1998年
采用MWPCVD制备金刚石膜的方法 ,以甲烷和一氧化碳为碳源气体 ,在适当的衬底温度与反应气体配比条件下 ,通过使衬底匀速转动 ,合成出具有 (10 0 )晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜 ,在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜的生长与单晶硅衬底的类型没有明显的直接关系 .
顾长志金曾孙吕宪义邹广田坂本幸弘高谷松文
关键词：金刚石膜MWPCVD微波法
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共1页<1>
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