姜坤
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：延边大学理学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 沉积参数对二氧化钛薄膜结构相变的影响被引量：4
- 2014年
- 用磁控溅射的方法在硅衬底上制备了二氧化钛薄膜,并通过改变薄膜沉积过程中氧气含量、溅射时间、工作压强、衬底温度等溅射参数,制备了系列薄膜样品,得到了二氧化钛薄膜两种相结构的最佳生成条件.研究表明:较高的工作压强有利于金红石结构的生成;衬底加热、增加沉积时间有利于生成锐钛矿结构;氧气含量的变化对薄膜的相结构没有明显影响.
- 刘艳姜坤吴宝嘉顾广瑞
- 关键词：二氧化钛薄膜金红石锐钛矿结构相变
- 二氧化钛/金属/ITO玻璃（硅）薄膜的制备及电学特性研究
- 二氧化钛薄膜由于它具有高介电常数、高折射率、高化学稳定性和半导体特性,被广泛应用于油漆、涂料、化纤、塑料、化妆品、陶瓷等领域,并且在光催化、太阳能电池、建材等许多方面有重要的应用前景.因此对二氧化钛薄膜的研究有一定的实用...
- 姜坤
- 关键词：二氧化钛薄膜金红石结构相变电学性能
- 文献传递
- 磁控溅射法制备的不同衬底上的TiO_2薄膜
- 2012年
- 利用射频磁控溅射方法,分别在改变氧气含量和沉积时间的条件下在ITO玻璃、Si和Al/ITO玻璃衬底上沉积了TiO2薄膜,并利用拉曼光谱表征了2种条件下的TiO2薄膜的结构.研究表明:衬底材料、氧气含量以及沉积时间明显地影响了TiO2薄膜的结构.随着氧气含量的降低,沉积在ITO玻璃衬底上的TiO2薄膜由锐钛矿和金红石的混合结构转变为单一的金红石结构,而沉积在Si衬底上的TiO2薄膜的结构没有改变,并保持单一的金红石结构;随着沉积时间的增加,Al/ITO玻璃衬底上的TiO2薄膜由金红石结构转变为锐钛矿结构.
- 郭智文姜坤吴宝嘉顾广瑞
- 关键词：TIO2薄膜金红石锐钛矿
- 沉积在硅尖上的氮化硼薄膜的场发射特性(英文)
- 2009年
- 利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1 380 cm-1和780 cm-1).在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性,与沉积在硅片上的BN薄膜比较,沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射特性明显提高.开启电场为8 V/μm,最高发射电流为300μA/cm2.沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射FN曲线为两段直线,这可能是由于电子发射源于硅尖的尖部和根部造成的.
- 姜坤李媛顾广瑞
- 关键词：场发射硅尖
