宋源
- 作品数：34 被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 一种平衡质量的位置调节装置
- 本发明涉及同步辐射束线光学领域，具体涉及一种平衡质量的位置调节装置。位置调节装置包括支撑杆、调节螺杆、第一夹持组件、拉簧以及第二夹持组件，调节螺杆可相对于支撑杆旋转；第一移动板与调节部螺纹连接，旋转调节螺杆以调节第一移动...
- 龚学鹏李声驰白洋卢启鹏宋源彭忠琦张振
- 用于曲面镜反射率测量的夹持装置
- 本发明公开了一种用于曲面镜反射率测量的夹持装置。该用于曲面镜反射率测量的夹持装置包括：基板，样品夹持槽，样品夹持压片，正面定位孔以及侧面定位槽；所述样品夹持槽设置在所述基板的中心，所述样品夹持槽可容置待测样品；所述样品夹...
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- 文献传递
- 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析被引量：2
- 2020年
- 反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以尺寸为440 mm×50 mm×50 mm的反射镜为例进行分析,传统支撑方式下反射镜下表面面形误差为1.647μrad,采用本文提出的夹持方案后面形误差降至0.0857μrad,优于工程指标0.1μrad。为防止反射镜在工作模式切换时发生窜动,可对反射镜添加不超过2 N的微小夹持力,此时反射镜的面形误差为0.0939μrad。此外,还对装置进行了动力学分析,结果显示:该设计方案可有效防止装置存在较低的固有频率,在使用过程中不会产生共振现象,满足光束线的使用需求。
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- 关键词：面形误差
- 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
- 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜...
- 卢启鹏宋源彭忠琦龚学鹏王依
- 文献传递
- 振动控制装置及其控制方法
- 一种振动控制装置，包括：振动信号处理装置、单轴柔性铰链；单轴柔性铰链的上平面分别放置反振动装置、第一振动检测装置和第二振动检测装置；第一振动检测装置和第二振动检测装置分别与振动信号处理装置通过数据线连接，分别用于检测单轴...
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- 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置
- 本发明涉及同步辐射光束线KB聚焦设备技术领域，具体为用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置；本发明要解决反射镜的自重对其面形形成影响，导致面形误差较高的技术问题。该装置具体包括：架体结构用以搭载一用于超高真空中的...
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- 文献传递
- 一种EUV反射镜清洗装置
- 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H<Sup>0</Sup>原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射...
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- EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置
- EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置，属于高温发热装置冷却领域，为解决现有技术存在的整套水冷装置较大，会对EUV光源造成损害的问题，将EUV光源的放电电极安装在散热基底上，包层管道安装在散热基底内，包层管道采取...
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- 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置
- 本发明涉及一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，包括污染气体储存罐、外加热层、温度控制器、气体压力传感器、流量计、污染气体发射管和发射管运动装置等，外加热层设置在污染气体储存罐的外壁，与温度控制器连接的气体压力传感...
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- 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
- 本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜...
- 卢启鹏宋源彭忠琦龚学鹏王依
- 文献传递
