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张冬利
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香港科技大学
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王文
香港科技大学
郭海成
香港科技大学
孟志国
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施雪捷
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孙家鑫
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非晶硅的金属诱导结晶和金属吸除技术
本发明讲述的是通过非晶硅金属诱导结晶制备高质量,大面积多晶硅薄膜的技术。此技术需要对起始的非晶硅薄膜引入可控量的诱导结晶金属元素;第一个低温热处理引起金属诱导结晶成核现象并形成很小的多晶硅“岛”;在此部分晶化薄膜材料上形...
王文
郭海成
孟志国
张冬利
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非晶硅的金属诱导结晶和金属吸除技术
本发明讲述的是通过非晶硅的金属诱导结晶制备高质量,大面积多晶硅薄膜的技术。此技术需要对起始的非晶硅薄膜引入可控量的诱导结晶金属元素;第一个低温热处理引起金属诱导结晶成核现象并形成很小的多晶硅“岛”;在此部分晶化薄膜材料上...
王文
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有源矩阵显示基板制备方法
有源矩阵显示基板制备方法本发明采用简化流程制备出适用于液晶和有机发光二极管显示器的有源基板。主要包括采用铝硅替代工艺,制备低电阻交叉引线技术;采用铝硅替代工艺,制备低源漏电阻的高性能TFT技术;多晶硅象素电极技术;将以上...
郭海成
王文
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张冬利
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朱秀玲
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有源矩阵显示基板制备方法
本发明采用简化流程制备出适用于液晶和有机发光二极管显示器的有源基板。主要包括采用铝硅替代工艺,制备低电阻交叉引线技术;采用铝硅替代工艺,制备低源漏电阻的高性能TFT技术;多晶硅象素电极技术;将以上多种新工艺巧妙地组合,整...
郭海成
王文
孟志国
张冬利
孙家鑫
朱秀玲
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