张殷华
- 作品数：9 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 热蒸发YbF_3薄膜的机械特性被引量：2
- 2008年
- 实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力。利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力。结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程。热处理后,YbF3薄膜应力增大。
- 张殷华黄伟张云洞
- 关键词：光学薄膜应力分析附着力热蒸发
- GD01-011射频功率对类金刚石薄膜性能的影响
- 利用射频等离子体化学气相沉积技术在硅基底上沉积类金刚石薄膜，利用红外透射光谱、椭圆偏振仪、Raman光谱等测试手段，研究在不同的射频功率条件下制备的类金刚石薄膜性质的变化.实验表明：随着功率的增加，薄膜中的SP3含量逐渐...
- 陈林林张殷华黄伟
- 关键词：类金刚石薄膜射频功率RAMAN光谱
- 文献传递
- 一种“四光合一”的光谱分光结构
- 本发明公开了一种“四光合一”的光谱分光结构，用于将远距离目标的可见、近红外、中波红外、长波红外4个光学谱段同时成像在相应的探测器上，实现对目标的可靠探测和充分识别。整个光路具体有三大部分组成，主光学系统第一次成像；分色镜...
- 杜俊峰周建伟张殷华王中科温正明
- 文献传递
- 光学薄膜附着力测量方法
- 附着力是光学薄膜的基本属性,直接影响到薄膜的环境稳定性、使用寿命和光学性能。附着力测量方法有多种,按在界面区域产生的应力类型,可将测试方法分成两大类:拉力法和剪切法。直接拉离、加速和冲击波等方法属于拉力法,而胶带、直接剪...
- 张殷华黄伟张云洞
- 关键词：附着力光学薄膜
- 文献传递
- 几种红外薄膜材料的光学特性
- 本文针对红外光学薄膜元件的需求,选取了近十种红外薄膜材料,通过不同的沉积方式,获取了这些材料的折射率,并研究了退火对薄膜光学性能的影响,为设计和制备相应的光学薄膜元件打下了坚实的基础。
- 张殷华黄伟张云洞
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- 射频功率对类金刚石薄膜性能的影响被引量：5
- 2013年
- 在不同射频功率条件下,实验研究了射频等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。利用Raman光谱仪、椭圆偏振仪、数字式显微硬度计分别测试了不同条件下单层类金刚石薄膜的金刚石相分数、光学常数和硬度。实验表明,随着功率的增加,金刚石相的相对分数减少,薄膜的折射率先减小再增加然后减小,射频功率大于910W时,沉积速率急剧增大。而薄膜的硬度先增加后减小,在射频功率为860W处获得最大值。
- 陈林林张殷华黄伟
- 关键词：射频功率类金刚石薄膜RAMAN光谱
- 几种红外薄膜材料的光学特性被引量：8
- 2006年
- 采用电阻蒸发和电子束蒸发方法,制备了9种红外薄膜材料的单层膜,包括氟化物、硫化物和硒化物。通过测量在可见近红外波段的透射率,采用包络线法计算出这些薄膜从可见到红外的折射率,高温退火能改善薄膜的光学性能。
- 张殷华黄伟张云洞
- 关键词：红外光学薄膜折射率
- 一种基于椭偏仪的光学薄膜热膨胀系数测量装置及其测量方法
- 本发明公开了一种基于椭偏仪的光学薄膜热膨胀系数测量装置及其测量方法，该测量装置包括椭偏仪、样品夹具组件、红外加热灯、热电偶组件、计算机。本发明光学薄膜热膨胀系数测量装置利用椭偏仪对光学薄膜厚度的精确测量，测量光学薄膜加温...
- 田晓习熊胜明高卫东张殷华
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- 中红外光学薄膜机械性能研究
- 在现代科学技术中，中红外光学簿膜应用越来越广泛，但其机械性能却不令人满意，主要原因是膜层存在较大的应力、膜层间的应力不匹配和附着力不好。影响薄膜应力和附着力的因素有薄膜的沉积方式、沉积的工艺条件以及沉积后的处理等等。
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- 张殷华
- 关键词：附着力机械性能薄膜应力
- 文献传递
