杨艺榕
- 作品数：26 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 转动竖直微镜的硅微机械光开关研究
- 该论文提出一种1x2扭转竖直微镜光开关,微镜采用(110)硅腐蚀制备而成,执行器采用变间隙的电容驱动器,光耦合采用球透镜进行,并制作1x2光开关器件.直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大,但光束准直后再耦合可以降低损耗.该...
- 杨艺榕
- 关键词：微机械光开关
- 文献传递
- 玻璃上的硅光波导材料及其制作方法
- 一种玻璃上的硅光波导材料及其制作方法,该材料是以玻璃为衬底,硅为波导层,玻璃或玻璃一氧化硅做限制层的光波导材料,其制作方法包括:硅片抛光面或具有氧化硅层的硅片的氧化硅面和玻璃片抛光面常规清洗后烘干,将玻璃片和硅片或硅片氧...
- 王跃林王文辉李铁杨艺榕
- 文献传递
- 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法
- 本发明涉及一种竖直镜面微机械光开关及其制作方法，其特征在于：该光开关的悬臂梁、微镜、光输入和输出的对准槽全都集成在一个硅片上；以非零度角入射，输出在反射角方向接收，输入球透镜最大程度地靠近镜面，输出球透镜前后错开摆放，输...
- 杨艺榕唐衍哲王跃林
- 文献传递
- 一种利用<110>硅片制作的微机械光开关
- 本发明提供一种利用<110>硅片制作微机械光开关的设计，属于光电子器件领域。其特征在于它是由A、B两个部分紧密结合而成，且相互绝缘；A部分上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁、主质量...
- 向民杨艺榕王跃林
- 文献传递
- 通信用关键微光机电器件的研究
- 王跃林李铁赵小林赖宗声吴亚明杨艺榕蔡炳初李文军戴旭涵茅惠兵忻佩胜石艳玲
- 该项目为微机械器件，该项目采用微机械加工技术，研制了1×2光开关。其原理为：采用在（100）硅片上腐蚀出垂直的（100）镜面和自对准的光纤V型槽，并采用特殊的抛光技术提高表面质量，通过静电力导致微镜面上下运动完成光路切换...
- 关键词：
- 关键词：通信微机械
- 1×2，2×2机械光开关
- 王跃林李铁吴亚明杨艺榕解健芳向民唐衍哲王东平王文辉王浙辉陈思琴
- 该项目采用微机械加工技术，研制了三种1×2光开关。其原理分别为：①（100）垂直镜面自对准光开关，采用在（100）硅片上腐蚀出垂直的（100）镜面和自对准的光纤V型槽，并采用特殊的抛光技术提高表面质量，通过静电力导致微镜...
- 关键词：
- 关键词：微机械光开关光通信
- 一种采用双压电晶片驱动器制作的二维光开关矩阵
- 杨艺榕吴亚明王跃林李毅
- 该项目为有关光开关的一个发明，第一个目的在于克服二维镜面密排光开关矩阵的不足，改进镜面的排列方式以及镜面与准直器行/列的位置排列关系，突破了“不工作镜面中心不允许与准直器中心在同一个高度上”的限制，提出一种二维镜面非密排...
- 关键词：
- 关键词：光开关矩阵
- 反应离子束刻蚀金刚石薄膜图形工艺
- 任琮欣江炳尧王效东杨艺榕
- 本发明涉及一种反应离子束刻蚀金刚石薄膜图形工艺。金刚石薄膜由热丝法生长在硅片上，刻蚀图形在具有卡夫曼型离子源的离子束刻蚀机上，采用纯氧反应离子束，以铝膜为掩模进行。铝掩模可由光刻、腐蚀或氩离子束刻蚀形成。氧分压下，金刚石...
- 关键词：
- 关键词：反应离子束刻蚀金刚石薄膜
- 玻璃上的硅光波导材料及其制作方法
- 一种玻璃上的硅光波导材料及其制作方法，该材料是以玻璃为衬底，硅为波导层，玻璃或玻璃一氧化硅做限制层的光波导材料，其制作方法包括：硅片抛光面或具有氧化硅层的硅片的氧化硅面和玻璃片抛光面常规清洗后烘干，将玻璃片和硅片或硅片氧...
- 王跃林王文辉李铁杨艺榕
- 文献传递
- 深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法(中科院)
- 王东平王文辉李铁杨艺榕王跃林
- 本发明公开一种深反应离子刻蚀技术中可动结构的牺牲层保护方法，针对深反应离子刻蚀技术在制作具有可动结构的器件中出现的可动结构释放后即受到较大破坏的问题，采用牺牲曾固定可动结构，使器件可动结构在进行深反应离子刻蚀工艺时始终保...
- 关键词：
- 关键词：深反应离子刻蚀牺牲层
