汤雅权
- 作品数：9 被引量：5H指数：1
- 供职机构：北京大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种平面电容谐振器及其制备方法
- 本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
- 于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
- 文献传递
- 亚微米间隙平面电容式谐振器研究
- 本文在充分调研和分析国内外微机械谐振器的研究现状，特别是硅基MEMS谐振器研究的基础上，开展了一种新型的电容极板间隙为亚微米的平面电容谐振器研究，并且从微机械谐振器的设计、谐振器检测原理、体模态谐振特性、制备工艺以及集成...
- 汤雅权
- 关键词：微机械系统芯片设计
- 一种制备平面电容谐振器的方法
- 本发明公开了一种制备平面电容谐振器的方法，包括如下步骤：1)在硅片上LPCVD一层氮化硅层，第一次光刻并RIE刻蚀氮化硅层；2)第二次光刻，并以该光刻胶作为掩膜，在感应耦合等离子体系统中各向异性干法刻蚀硅，形成深槽；3)...
- 于晓梅刘毅汤雅权马盛林易玉良王兆江
- 文献传递
- 微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成被引量：4
- 2008年
- 提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器。测量的结果证实了我们单片集成的可行性。
- 汤雅权张海涛马盛林于晓梅
- 关键词：单片集成MEMSSOI仪用放大器
- 一种平面电容谐振器及其制备方法
- 本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
- 于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
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- 集成微传感器的制备方法
- 本发明提供了一种基于SOI技术的集成微传感器的制备方法，属于微机电系统和集成电路技术领域。该方法基于Post－CMOS或Intermediate－CMOS工艺，利用SOI CMOS工艺和SOI微机械加工技术，在SOI硅片...
- 于晓梅汤雅权张海涛王颖王玮
- 文献传递
- 一种制备平面电容谐振器的方法
- 本发明公开了一种制备平面电容谐振器的方法，包括如下步骤：1)在硅片上LPCVD一层氮化硅层，第一次光刻并RIE刻蚀氮化硅层；2)第二次光刻，并以该光刻胶作为掩膜，在感应耦合等离子体系统中各向异性干法刻蚀硅，形成深槽；3)...
- 于晓梅刘毅汤雅权马盛林易玉良王兆江
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- 电容式非制冷红外探测器的设计与热力学特性分析被引量：1
- 2008年
- 本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析。使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响。红外探测器的温度响应和位移响应与吸收的红外辐射能量呈线性关系;随着红外探测器结构尺寸的增加,其温度响应度、位移响应度、热时间常数都随之增加,探测能力增强,但瞬态响应特性降低;当铝膜与氮化硅层的厚度比为0.5-0.6时,器件的位移响应度最大。
- 马盛林汤雅权于晓梅
- 关键词：非制冷红外探测器ANSYS
- 挠性双端固支梁MEMS谐振器研究
- 提出了一种新型的基于SOI材料的亚微米间隙平面电容式谐振器,描述了结构以及工作原理。对谐振器结构进行仿真分析,研究关键工艺,并成功在北京大学微米纳米加工实验室制作出亚微米间隙平面电容式单晶硅谐振器。
- 刘毅汤雅权于晓梅
- 关键词：SOI材料
- 文献传递
