您的位置： 专家智库 > >

易玉良

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 4篇电极
  • 2篇等离子体
  • 2篇动态特性
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振频率
  • 2篇谐振器
  • 2篇锚点
  • 2篇金属
  • 2篇金属电极
  • 2篇刻蚀
  • 2篇硅片
  • 2篇感应耦合
  • 2篇感应耦合等离...
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇双材料
  • 1篇牺牲层
  • 1篇面阵

机构

  • 5篇北京大学

作者

  • 5篇易玉良
  • 4篇刘毅
  • 4篇马盛林
  • 4篇于晓梅
  • 4篇汤雅权
  • 4篇王兆江

年份

  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
全选 清除 导出
排序方式：
一种平面电容谐振器及其制备方法
本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
文献传递
一种制备平面电容谐振器的方法
本发明公开了一种制备平面电容谐振器的方法，包括如下步骤：1)在硅片上LPCVD一层氮化硅层，第一次光刻并RIE刻蚀氮化硅层；2)第二次光刻，并以该光刻胶作为掩膜，在感应耦合等离子体系统中各向异性干法刻蚀硅，形成深槽；3)...
于晓梅刘毅汤雅权马盛林易玉良王兆江
文献传递
一种制备平面电容谐振器的方法
本发明公开了一种制备平面电容谐振器的方法，包括如下步骤：1)在硅片上LPCVD一层氮化硅层，第一次光刻并RIE刻蚀氮化硅层；2)第二次光刻，并以该光刻胶作为掩膜，在感应耦合等离子体系统中各向异性干法刻蚀硅，形成深槽；3)...
于晓梅刘毅汤雅权马盛林易玉良王兆江
文献传递
双材料微悬臂梁红外焦平面阵列研究
易玉良
关键词：双材料悬臂梁非制冷红外成像牺牲层
一种平面电容谐振器及其制备方法
本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0