申辉
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
- 供职机构：黑龙江省光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法
- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法,其特征是在生长衬底的下部设置能产生可使电子作螺旋曲线运动的环形磁场的线圈。本发明可增加金刚石膜的生长速度,提高金刚石膜的质量。
- 申家镜申辉邵春雷张传胜魏雪峰
- 文献传递
- 高功率准分子激光沉积类金刚石膜的结构及性能被引量：6
- 2003年
- 采用高功率和高频率准分子激光器在高真空及 H2 和 N2 气氛下沉积类金刚石膜 .利用 Raman光谱和电子衍射方法分析了膜的微结构 . Raman光谱呈典型 DLC膜的特征 ,G峰位于 1 5 2 8cm-1,D峰位于1 3 2 7cm-1,为一大的肩峰 ,电子衍射图象呈多晶电子衍射特征 ,可观察到 5个同心圆环 ,由此计算出的面间距与金刚石 ( 1 1 1 ) ,( 2 0 0 ) ,( 2 2 0 ) ,( 3 3 1 )和 ( 3 3 2 )面间距相符 .红外吸收光谱测量结果表明 ,在 Ge片上单面镀类金刚石膜具有明显的红外增透效果 ,在 1 0 0 0～ 3 0 0 0 cm-1范围内红外透过率达到 5 5 %以上 .用原子力显微镜和 SEM观察了表面形貌 ,用显微硬度计和显微划痕仪测试了膜的硬度与附着力 .
- 彭鸿雁金曾孙李俊杰申辉赵立新申家镜
- 关键词：准分子激光器类金刚石膜结构特性
- 紫外光制备碳纳米管的方法
- 本发明公开了一种紫外光制备碳纳米管的方法，其特点是将用于作生长衬底的硅片经超声清洗后，预沉积一层催化纳米粉，把该衬底置入沉积腔内并抽真空到≤10Pa后通入原料气体，把波长小于等于350nm的紫外光经反射镜反射后会聚照射在...
- 彭鸿雁申家镜申辉
- 文献传递
