申家镜
- 作品数：13 被引量：6H指数：1
- 供职机构：黑龙江省光电技术研究所更多>>
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- 双波长激光辅助沉积功能膜的方法
- 双波长激光辅助沉积功能膜的方法,其特征是将高频脉冲准分子激光输出的紫外激光束经分光镜分为二束,一束经透镜聚焦到靶体上,另一束经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上,同时将红外激光器输出的红外激光经扩束镜均匀照射到整个衬底表面上...
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- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法
- 回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法,其特征是在生长衬底的下部设置能产生可使电子作螺旋曲线运动的环形磁场的线圈。本发明可增加金刚石膜的生长速度,提高金刚石膜的质量。
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- 紫外激光制备中药和难溶西药纳米粉的方法
- 紫外激光制备中药和难溶药物纳米粉的方法,其特征是,它是通过用紫外激光对待粉碎药物进行照射,使药物溅射出纳米级粉体,然后将其收集而实现的。本发明可制备细度小于5nm的药物粉体。
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- 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法
- 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法，其特征是，它是用紫外光对直流辉光放电化学气相沉积金刚石膜反应腔中的生长衬底表面进行照射。用该方法制备金刚石薄膜具有生长速度快和质量高的优点。
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- 光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法
- 本发明公开了一种光子—热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法,其特征是在热丝化学气相沉积的工艺中,同时采用波长为3.5μm的红外光对生长衬底表面进行照射。本发明可提高原料气体的分解率,从而提高金刚石膜的沉积速度,改善...
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- 光子热丝法沉积金刚石膜(英文)
- 2001年
- 采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强 ,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
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- 关键词：金刚石膜生长速率CVD
- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法
- 均匀热场阵列生长金刚石膜管的方法，其特征是它是在充有含碳气体化合物等气体的容器内，通过电热丝架使电热丝呈弧口相对的圆弧形竖立排列，且使多根膜管生长丝通过丝架竖直排列在弧口相对的两电热丝列之间。该方法一次制做操作流程可生产...
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- 快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置
- 快速制备大面积均匀纳米功能膜的装置,它是在真空罩的罩体上分别设有激光入射窗口、抽气口、红外光扩束窗口、充气窗口、靶体动力输入口、检验窗口、碘钨灯、观察窗口、靶体电极、衬底电极、衬底动力输入口,在对应靶体动力输入口和衬底动...
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- 液相介质中紫外激光制备纳米粉的方法
- 本发明公开了一种液相介质中紫外激光制备纳米粉的方法，其特点是在可透过紫外光的液相介质中放置被溅射靶材，紫外激光经聚焦后直接照射靶材使其溅射制得纳米粉。本发明操作简捷、方便，适用范围广。
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- 准分子激光快速制备多种材料纳米粉体装置
- 准分子激光快速制备多种材料纳米粉体装置,它由罩体1和设于罩体1内的靶架2、收料辊3、刮板4、收料斗5和收料槽6构成。它与准分子激光器配合使用,可快速将多种不同材料物质制备成纳米级粒度粉体。
- 申家镜彭鸿雁杨贵龙
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