顾蓓蓓 作品数:9 被引量:12 H指数:2 供职机构: 上海大学材料科学与工程学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 “上海-应用材料研究与发展”基金 上海市青年科技启明星计划 更多>> 相关领域: 电子电信 核科学技术 一般工业技术 理学 更多>>
CVD金刚石紫外探测器 CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾. 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本关键词:紫外探测器 金刚石膜 文献传递 CVD金刚石紫外探测器 被引量:1 2004年 CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾. 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本关键词:紫外探测器 金刚石膜 新型金刚石膜微条气体室X射线探测器 2005年 以金刚石膜/硅复合材料作为基板,运用微加工技术在金刚石膜/硅衬底上光刻铬/金微条电极,制成了流气式微条气体室探测器。在室温及101.0kPa下,使用微机多道能谱仪及辅助电子学设备在5.9keV55FeX射线辐照下测量了微条气体室探测器在不同电压下的能谱响应和脉冲信号。结果表明微条气体室探测器具有较高的信噪比,计数率≥103Hz,当混合工作气体Ar:CH4=90:10、漂移电压-1000V、阴极电压-650V、阳极0V时,能量分辨率达12.3%。 苏青峰 夏义本 王林军 杨莹 张明龙 楼燕燕 顾蓓蓓 崔江涛 史伟民关键词:金刚石膜 MSGC X射线探测器 能量分辨率 Al_2O_3陶瓷上金刚石膜生长工艺优化及α粒子响应 被引量:3 2005年 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在氧化铝陶瓷衬底上沉积金刚石膜,并制作梳状电极的α粒子探测器.通过优化薄膜生长条件,发现酒精浓度为0.8%、沉积温度为850℃时,金刚石薄膜的介电常数最接近单晶金刚石膜,X射线衍射、喇曼光谱及扫描电子显微镜测试表明金刚石膜的质量较好.探测器的I V测试结果表明暗电流在10-8~10-7A之间,α粒子(241Am5.5MeV)辐照下电流为10-5~10-4A. 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本关键词:粒子探测器 金刚石 介电系数 氧化铝 CVD金刚石膜及辐射探测器的制备和性能研究 金刚石具有独特的优异性能,被认为是一种能工作于强辐照等恶劣环境下的辐射探测器材料。天然金刚石价格昂贵、缺陷浓度大并且可重复性差,限制了其应用。随着化学气相沉积(CVD)技术的不断完善,制造高质量、大面积、低成本的金刚石产... 顾蓓蓓关键词:CVD 金刚石膜 电学性能 辐射探测器 化学气相沉积 文献传递 探测器级金刚石膜的制备及象素列阵探测技术 王林军 夏义本 史伟民 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 楼燕燕 沈悦 该项目为了解决任意取向多晶金刚石薄膜缺陷多、晶界乱、表面光洁度不高以及均匀性和电学性能不好等问题,提出采用[100]定向金刚石薄膜作为探测器材料。在探测器级金刚石膜的制备工艺优化过程中,提出采用红外椭圆偏振光谱对CVD金...关键词:关键词:CVD金刚石 辐射探测器 阵列 (100)定向CVD金刚石薄膜的制备及其电学性能 被引量:7 2005年 报道了采用HFCVD制备金刚石薄膜的方法,以乙醇为碳源,氢气为载气,在适当的衬底温度下,合成出具有(100)晶面取向均匀生长的金刚石薄膜.SEM,XRD和Raman分析表明,所合成的金刚石薄膜是高质量的多晶(100)取向膜,厚度均匀、化学性能稳定,结构和性能与天然金刚石相接近.研究了室温下(100)取向金刚石薄膜的暗电流电压特性、稳态55Fe 5. 9keV X射线辐照下的响应和电容频率特性.结果表明,退火后(100)取向多晶金刚石薄膜具有较低的暗电流和较高的X射线响应;高频下,电容和介电损耗都很小且趋于稳定,不随频率的变化而变化. 苏青峰 夏义本 王林军 张明龙 楼燕燕 顾蓓蓓 史伟民关键词:金刚石薄膜 HFCVD 电学特性 气体电子倍增器的研制及性能测试 被引量:1 2005年 气体电子倍增器(GEM)以其独特的性能在辐射探测器领域得到了广泛的应用,对50μm厚聚酰亚胺(kapton)薄膜利用真空热蒸发和激光掩膜打孔法制作GEM膜,孔径100μm,孔距223μm,并封装流气式探测器,有效探测面积3mm×3mm。5.9keV55F e X射线测量了GEM在不同高压和混合气体比例时的脉冲幅度分布情况。讨论了高压和气体比例对探测器计数率和能量分辨率的影响。结果表明GEM具有较高的信噪比,能量分辨率可达18.2%。 张明龙 夏义本 王林军 顾蓓蓓 汪琳 杨莹关键词:辐射探测器 聚酰亚胺薄膜 X射线 CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究 2005年 提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(ρ~1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm阴极100μm,间距200μm。室温下,充以1.01×10-5PaAr+CH4混合气体时,采用5.9keV55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率。在Ar+10%CH4混合气体、-1100V漂移电压和-650V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%。 张明龙 夏义本 王林军 顾蓓蓓 杨莹 汪琳关键词:气体探测器 CVD金刚石膜 X射线