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张小波

作品数：8 被引量：33H指数：2
供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金辽宁省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 5篇溅射
  • 5篇磁控
  • 5篇磁控溅射
  • 3篇等离子体
  • 3篇等离子体密度
  • 3篇电磁线圈
  • 3篇真空镀膜
  • 3篇透明导电
  • 3篇跑道
  • 3篇基片
  • 3篇磁场位形
  • 3篇磁控管
  • 2篇导电薄膜
  • 2篇直流磁控
  • 2篇直流磁控溅射
  • 2篇直流磁控溅射...
  • 2篇透明导电薄膜
  • 2篇溅射法
  • 2篇反应磁控溅射
  • 2篇ZNO:AL

机构

  • 8篇中国科学院金...

作者

  • 8篇张小波
  • 7篇孙超
  • 7篇宫骏
  • 6篇肖金泉
  • 4篇闻立时
  • 3篇裴志亮
  • 3篇石南林
  • 3篇华伟刚
  • 1篇郎文昌
  • 1篇王铁钢
  • 1篇雷浩

传媒

  • 1篇金属学报
  • 1篇中国表面工程
  • 1篇2006北京...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2010
  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
ZnO:Al(ZAO)薄膜的制备与特性研究被引量：27
2005年
采用磁控溅射技术制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜.研究了不同的工艺参数对薄膜的组织结构和光电特性的影响.实验结果表明,多晶ZAO薄膜具有(001)择优取向且呈柱状生长,能量机制决定其微观生长状态.讨论了薄膜的内应力,高的沉积温度和低的溅射功率可有效减小薄膜的内应力.优化的ZAO薄膜电阻率和在可见光区的平均透射率可分别达到3×10-4-4×10-4Ω·cm和80％以上.
裴志亮张小波王铁钢宫骏孙超闻立时
关键词：直流反应磁控溅射ZAO薄膜光电特性
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
采用外加电磁线圈直流磁控溅射法低温制备了ZnO:Al透明导电薄膜,研究了不同沉积参数对AZO薄膜电学性能的影响.通过改变外加同轴线圈磁场来改变基片处等离子体密度,并用Langmuir探针进行了测量.研究结果表明:低温沉积...
张小波裴志亮肖金泉宫骏孙超
关键词：透明导电薄膜直流磁控溅射法电磁线圈电阻率
文献传递
一种磁控管溅射装置
本发明涉及真空镀膜磁控溅射沉积技术，更具体地，涉及一种在真空溅射镀膜时使用的溅射装置，包括：磁控管(1)和电磁线圈(6)，彼此同轴相对放置，其中电磁线圈(6)可以沿着磁控管(1)中心轴线远近移动。通过控制电磁线圈(6)的...
肖金泉张小波孙超宫骏华伟刚石南林闻立时
文献传递
一种磁控管溅射装置
本发明涉及真空镀膜磁控溅射沉积技术，更具体地，涉及一种在真空溅射镀膜时使用的溅射装置，包括：磁控管(1)和电磁线圈(6)，彼此同轴相对放置，其中电磁线圈(6)可以沿着磁控管(1)中心轴线远近移动。通过控制电磁线圈(6)的...
肖金泉张小波孙超宫骏华伟刚石南林闻立时
文献传递
一种磁控管溅射装置
本实用新型涉及真空镀膜磁控溅射沉积技术，更具体地，涉及一种在真空溅射镀膜时使用的溅射装置，包括：磁控管(1)和电磁线圈(6)，彼此同轴相对放置，其中电磁线圈(6)可以沿着磁控管(1)中心轴线远近移动。通过控制电磁线圈(6...
肖金泉张小波孙超宫骏华伟刚石南林闻立时
文献传递
磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用被引量：5
2015年
针对磁控溅射和阴极弧离子镀沉积技术存在的局限性,采用有限元分析方法(Finite element method,FEM)进行磁场模拟,优化设计外加电磁线圈的结构和磁场分布位形,并应用于磁控溅射沉积透明导电氧化物和阴极弧离子镀沉积硬质薄膜中。分析了外加电磁线圈磁场对磁控溅射等离子体辉光变化、磁控靶磁场平衡度/非平衡度、以及线圈位置对等离子体特性和靶材利用率的影响。设计和制作了轴对称磁场和旋转磁场,研究了它们对阴极弧离子镀弧斑运动形貌和薄膜表面大颗粒等特性的影响。通过控制弧斑运动状态,可以得到不同程度的颗粒分布,实现颗粒的可控沉积,减少薄膜表面大颗粒的污染。
雷浩肖金泉郎文昌张小波宫骏孙超
关键词：磁控溅射旋转磁场
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
采用外加电磁线圈直流磁控溅射法低温制备了ZnO:Al透明导电薄膜, 研究了不同沉积参数对AZO薄膜电学性能的影响。通过改变外加同轴线圈磁场来改变基片处等离子体密度,并用Langmuir探针进行了测量。研究结果表明:低温沉...
张小波裴志亮肖金泉宫骏孙超
关键词：ZNO:AL透明导电薄膜反应溅射电磁线圈
文献传递
反应磁控溅射掺杂ZnO透明导电氧化物薄膜的研究
本论文开展了圆形平面磁控靶的模拟设计和反应磁控溅射ZnO:Al(AZO)薄膜低温沉积工艺的研究。以常规圆形平面磁控靶为典型例子，采用有限元磁场模拟计算分析了磁控靶结构参数的影响;针对外加电磁线圈磁控溅射系统，分析了电磁线...
张小波
关键词：磁控溅射透明导电氧化物薄膜氧化锌光学性能
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