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朱冠超

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 4篇双光束
  • 4篇光束
  • 4篇薄膜应力
  • 3篇镀膜
  • 3篇镀膜机
  • 3篇膜厚
  • 3篇薄膜厚度
  • 3篇采集卡
  • 2篇光学
  • 2篇光学薄膜
  • 2篇测量方法
  • 1篇线阵CCD

机构

  • 5篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 5篇朱冠超
  • 4篇易葵
  • 4篇方明
  • 3篇申雁鸣
  • 1篇邵淑英
  • 1篇范正修
  • 1篇朱美萍

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法
一种双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法，该装置包括搭建在镀膜机真空室外的半导体激光器、双光束分束准直器、晶控仪、位敏光电探测器、A/D采集卡和计算机，以及安装在真空室内的第三反射镜，晶控探头。半导体激光光束...
朱冠超方明申雁鸣易葵
文献传递
光学薄膜应力实时测量系统研究
所有薄膜几乎都处在某种应力之中，它的存在会导致薄膜龟裂、卷曲和脱落，从而限制了薄膜结构的稳定性和功能。薄膜应力的主要部分是薄膜生长过程中建立起来的，即内应力表征的部分。为了了解薄膜生长过程中应力变化的情况，也为了对应力机...
朱冠超
关键词：光学薄膜
双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置
一种双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置，该装置包括搭建在镀膜机真空室外的半导体激光器、双光束分束准直器、晶控仪、位敏光电探测器、A/D采集卡和计算机，以及安装在真空室内的第三反射镜，晶控探头。半导体激光光束经过双光束分...
朱冠超方明申雁鸣易葵
文献传递
双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法
一种双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法，该装置包括搭建在镀膜机真空室外的半导体激光器、双光束分束准直器、晶控仪、位敏光电探测器、A/D采集卡和计算机，以及安装在真空室内的第三反射镜，晶控探头。半导体激光光束...
朱冠超方明申雁鸣易葵
文献传递
双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置被引量：2
2009年
为了在薄膜形成期间跟踪生长表面应力水平的演变,更加深入地探究薄膜应力的产生机理,基于光束偏转法,搭建了利用双光束照射在镀膜基底表面的实时测量光学薄膜应力的装置。装置软件系统从线阵CCD中提取双光斑位移的变化,经过多次测量验证了算法的精确度,使装置的精确度达到2.2%,可以满足光学薄膜应力测量的要求。使用此装置跟踪SiO_2薄膜镀制过程,得到了应力变化曲线。结果表明,双光束实时测量薄膜应力装置具有抗干扰能力强、精度高等特点,可以为光学薄膜镀制过程中提供有效可行的原位应力测量手段。
朱冠超方明易葵朱美萍邵淑英范正修
关键词：线阵CCD
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