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文献类型

  • 54篇中文专利

主题

  • 23篇机械手
  • 13篇晶圆
  • 6篇卡爪
  • 6篇传动
  • 5篇手臂
  • 5篇肘部
  • 5篇夹持
  • 4篇导气
  • 4篇张紧轮
  • 4篇随动
  • 4篇通孔
  • 4篇转轴
  • 4篇壳体
  • 4篇机器人
  • 4篇感器
  • 4篇标定方法
  • 4篇侧翻
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇导轨

机构

  • 54篇沈阳新松机器...

作者

  • 54篇温燕修
  • 51篇李学威
  • 38篇曲道奎
  • 38篇徐方
  • 23篇边弘晔
  • 22篇张鹏
  • 20篇周道
  • 15篇何以刚
  • 11篇何书龙
  • 9篇王鲁非
  • 9篇冯亚磊
  • 9篇王凤利
  • 6篇孙义田
  • 5篇王金涛
  • 4篇何伟全
  • 4篇张铁
  • 3篇柴源
  • 3篇陈雷
  • 3篇邹风山
  • 3篇张一博

年份

  • 7篇2016
  • 12篇2015
  • 13篇2014
  • 19篇2013
  • 3篇2012
54 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
侧翻式机械手
一种侧翻式机械手,包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指,所述手指直接固定在旋转轴上,所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴,所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起,所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转...
徐方曲道奎李学威周道温燕修何书龙郑鋆王鲁非
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具有张紧机构的带轮机构
一种带轮机构,包括一个驱动轮、一个从动轮及一条同步带,所述同步带套在驱动轮与从动轮上,驱动轮转动通过同步带同步驱使从动转动,所述带轮机构还包括一个张紧机构,张紧机构包括有一个摆杆、两个张紧轮、一个固定的转动轴及一个调整弹...
温燕修孙义田张一博徐方李学威边弘晔郑鋆王凤利
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导气管的走线布置装置、应用其的大气机械手及走线方法
本发明公开了一种导气管的走线布置装置、应用其的大气机械手及走线方法,走线布置装置包括:套环、线卡及连接件,套环通过连接件固定在机械手的肩部带轮上,线卡为至少两个,设在机械手的大臂内。大气机械手包括有回转盘、大臂、肘部、导...
李学威温燕修曲征辉何书龙张鹏郑鋆
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预对准机的标定方法
一种预对准机的标定方法,一机械手将一晶圆放置在一预对准机上;所述机械手和预对准机坐标系相对方向的确定,包括步骤:机械手将晶圆放置在预对准机上,晶圆的圆心处于预对准机所在的一第一坐标系中的一第一位置点;预对准机识别第一位置...
曲道奎徐方张鹏温燕修李学威孙义田郑鋆王鲁非
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机械手夹持确认装置
一种机械手夹持确认装置,包括一气缸、一传感器装置、一导向轴及一与导向轴相连的卡抓,所述气缸具一输出轴,所述气缸的运动藉由其输出轴传递至所述导向轴,所述夹持确认装置还包括一弹性装置,所述弹性装置设置于所述气缸的输出轴和所述...
王鲁非曲道奎徐方温燕修李学威冯亚磊边弘晔陈雷
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旋转限位机构
一种旋转限位机构,包括支架、主动轮、张紧轮、柔性缆绳及张紧弹簧,所述主动轮与张紧轮通过转动轴转动固定在所述支架上,所述柔性缆绳一端固定在所述主动轮的圆周上,另一端固定在所述张紧轮的圆周上,所述张紧弹簧的一端固定在所述张紧...
何以刚温燕修徐方李学威王金涛王凤利管莉娜周道
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晶圆预对准方法及装置
本发明公开了一种晶圆预对准方法及装置,该装置包括机座、吸盘组件、支撑组件、光源及CCD传感器,所述的机座内设有驱动装置及机构,能带动所述的吸盘组件作升降运动、旋转或平移,所述的支撑组件设于所述的机座上,位于所述的吸盘组件...
曲道奎李学威张鹏柴源何元一温燕修
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一种骨科辅助牵引装置
本发明公开了一种骨科辅助牵引装置,包括:基座;直线导轨,固定安装于基座上;大臂固定装置,安装于直线导轨的一端,可沿直线导轨滑动;手部夹持装置,安装于直线导轨的另一端,可沿直线导轨滑动,其设有一手部夹持槽;气缸固定在基座上...
曲道奎徐方李学威温燕修杨阔何书龙
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预对准装置
一种预对准装置,包括一用以夹持物体的夹持结构,所述夹持结构包括夹持件及转动件,所述夹持件及转动件之间连接一第一驱动器,所述物体夹持在所述夹持件及转动件之间,所述转动件连接一第二驱动器,所述第二驱动器驱使所述转动件绕一第一...
周道何以刚曲道奎徐方李学威张鹏温燕修管莉娜
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预对准机与机械手相对坐标系的标定方法
本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法,所述标定方法包括:第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系,机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系;第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′...
徐方吕光温燕修张鹏周道李学威
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共6页<123456>
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