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魏志国

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学文化科学电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 3篇可调
  • 3篇工件台
  • 2篇弹簧
  • 2篇导轨
  • 2篇对焦
  • 2篇对心
  • 2篇对准标记
  • 2篇衍射
  • 2篇永磁
  • 2篇永磁体
  • 2篇真空规
  • 2篇真空规管
  • 2篇数字化
  • 2篇通气孔
  • 2篇气体
  • 2篇气体分析
  • 2篇气体分析器
  • 2篇气体分析装置
  • 2篇自动计算
  • 2篇龙门架

机构

  • 17篇中国科学院微...

作者

  • 17篇魏志国
  • 11篇宗明成
  • 6篇徐天伟
  • 5篇李世光
  • 5篇武志鹏
  • 5篇孙裕文
  • 4篇黄有为
  • 4篇王丹
  • 2篇王宇
  • 2篇马向红
  • 2篇宋泽宇

年份

  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
对准信号数字化同步解调方法及装置
本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该...
赵晓东谢冬冬李璟齐月静武志鹏齐威魏志国王丹
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一种调焦调平传感器测量装置
本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置，涉及测量技术领域，用于测量带有工艺的硅片的高度形貌，该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光...
宗明成李世光王丹魏志国武志鹏孙裕文
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一种多轴干涉仪测量装置
本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台...
齐威孟璐璐李璟齐月静宗明成杨光华卢增雄魏志国
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晶圆轮廓图的构造方法
一种晶圆轮廓图的构造方法，该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息，绘制初始晶圆高度轮廓图，其中，晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向，Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布；在初始晶圆高度轮廓图中确定晶...
武志鹏谢冬冬李璟王丹齐威陈进新魏志国胡丹怡
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一种光学元件的精密对心粘胶装置
本发明公开了一种光学元件的精密对心粘胶装置，所述装置用于将第一镜片对心粘胶于镜筒，所述装置包括：底座、V型或U型导轨、第一镜片夹持定位机构和第一锁紧机构；V型或U型导轨垂直固定在底座上；第一镜片夹持定位机构用于夹持第一镜...
宗明成魏志国李世光孙裕文宋泽宇
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一种集光系统防污染保护装置
本发明公开了一种集光系统防污染保护装置，用于一种集光系统中，所述集光系统包括：一激光源，一真空腔，一集光镜，所述集光系统防污染保护装置包括：一供气管路，用于传输压力气体；至少一通气孔，位于所述供气管路上，用于喷射所述压力...
宗明成魏志国徐天伟孙裕文黄有为
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一种振动隔离装置
本发明提供了一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、真空腔体(1)内设有主基板(2)，真空腔体(1)的一内壁与主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(3...
陈进新李璟齐月静齐威徐天伟魏志国
一种气体分析装置及方法
本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于...
宗明成徐天伟黄有为马向红魏志国
一种测量标记结构的方法、装置及系统
本发明提供了一种测量标记结构的方法、装置及系统。所述方法包括：S1，获取平行的相干光束，将所述相干光束入射对准标记后得到衍射光束，该衍射光束通过衍射光阑发生干涉得到干涉信号，通过探测器测量所述干涉信号的实际光强分布；S2...
杨光华王宇李璟齐月静陈进新齐威胡丹怡魏志国
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一种平凸透镜对心安装装置
本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种平凸透镜对心安装装置，用于将平凸透镜对心安装在透镜筒内，所述安装装置包括：前定心筒，平凸透镜与前定心筒通过配合面重合保证同轴对心；后定心筒，后定心筒位于前定心筒的后方，前定心筒与后定心...
宗明成宋泽宇魏志国李世光
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