凌磊婕
- 作品数：9 被引量：13H指数：3
- 供职机构：同济大学理学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 基于针法的平板偏振膜设计被引量：4
- 2010年
- 利用针(needle)法优化技术,分别以两种不同厚度的高折射率单层膜为初始膜系,设计得到了平板偏振膜。当入射角为56°时,在中心波长1053 nm附近不小于20 nm的带宽范围内,偏振膜的p光反射率Rp<2%,s光反射率Rs>99.5%,且消光比(Tp/Ts)>200。角度特性分析结果表明,在入射角由53°增大至59°的过程中,两偏振膜的光学性能均满足设计要求,但偏振带却向短波长方向发生了移动,且带宽增大。根据蒙特卡罗容差分析,在各膜层膜厚误差独立的监控方式下,要保证成品率高于90%,则两偏振膜的最大容许膜厚标准偏差分别为1.20%和1.35%。
- 陈乃波吴永刚凌磊婕焦宏飞王振华
- 关键词：薄膜光学针法容差分析
- 自支撑聚酰亚胺/锆膜的制备及性能改善被引量：4
- 2011年
- 采用直流磁控溅射法制备自支撑锆(Zr)膜,采用二步法制备聚酰亚胺(PI)膜,在Zr膜表面沉积PI膜得到自支撑PI/Zr复合膜。均苯四甲酸酐(PMDA)和二甲基二苯醚(ODA)在二甲基乙酰胺(DMAC)中反应得到聚酰胺酸(PAA),然后PAA高温亚胺化得到PI;PI成膜时采用提拉法成膜。经国家同步辐射实验室计量线站测定,实际测量结果与理论分析一致,PI膜的引入虽然会导致自支撑薄膜透过率有所下降,但在类镍-银软X射线13.9 nm波段PI(200 nm)/Zr(300 nm)和PI(200 nm)/Zr(400 nm)自支撑薄膜的透过率仍然分别达到14.9%和7.5%。
- 伍和云吴永刚吕刚凌磊婕夏子奂刘仁臣唐平林
- 关键词：聚酰亚胺聚酰胺酸亚胺化
- 高激光损伤阈值光学薄膜场强分布模拟与优化
- 本文研究的是利用优化工具遗传算法(GA)设计优化中心波长为1053nm，以45°入射的平板偏振膜.首先利用matlab编写了遗传算法优化程序，设计了周期多层偏振膜.在此基础上，进一步计算并优化膜系中的驻波场.最后优化得到...
- 凌磊婕吴永刚陈乃波王振华
- 关键词：激光损伤阈值驻波场遗传算法优化设计
- 文献传递
- 自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究被引量：2
- 2011年
- 软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
- 伍和云吴永刚王振华吕刚凌磊婕夏子奂陈乃波
- 关键词：软X射线脱模剂磁控溅射
- 导模共振滤光片波导近似分析
- 本文从等效折射率理论及薄膜波导的本征值方程出发，研究了导模共振光栅滤光片的波导近似分析方法。分别以单层、四层膜系导模共振光栅结构为例，将光栅等效为均质薄膜，通过求解波导本征值方程，研究了光栅层厚度、周期、占空比，四层膜系...
- 王振华吴永刚陈乃波凌磊婕夏子奂
- 关键词：光栅结构等效折射率
- 文献传递
- 用导模共振光栅测量纳米级间隙的研究
- 利用导模共振光栅表面的空气层厚度变化，造成导模共振光橱反射峰位的移动来测量纳米级间隙，突破了测量100nm以下间隙的难关.本文用严格耦合波方法计算了双层膜和金属基底模型，并分别讨论了光栅各参数(光栅厚度、周期、折射率)、...
- 夏子奂吴永刚王振华凌磊婕
- 关键词：导模共振
- 文献传递
- 导模共振滤光片波导近似分析
- 本文从等效折射率理论及薄膜波导的本征值方程出发,研究了导模共振光栅滤光片的波导近似分析方法。分别以单层、四层膜系导模共振光栅结构为例,将光栅等效为均质薄膜,通过求解波导本征值方程,研究了光栅层厚度、周期、占空比,四层膜系...
- 王振华吴永刚陈乃波凌磊婕夏子奂
- 关键词：导模共振光栅等效折射率
- 文献传递
- 高激光损伤阈值光学薄膜场强分布模拟与优化
- 本文研究的是利用优化工具遗传算法（GA）设计优化中心波长为1053nm,以45°入射的平板偏振膜。首先利用matlab编写了遗传算法优化程序,设计了周期多层偏振膜。在此基础上,进一步计算并优化膜系中的驻波场。最后优化得到...
- 凌磊婕吴永刚陈乃波王振华
- 关键词：激光损伤阈值驻波场遗传算法
- 文献传递
- 正交双光栅结构的导模共振光谱特性被引量：3
- 2011年
- 将两个弱调制导模共振光栅相互垂直放置构成新型正交光栅结构。应用严格耦合波理论计算了横电/横磁（TE/TM）偏振光入射时的光谱特性,并分析了该结构的导模共振现象。研究表明,当改变两光栅间隔距离时,正交光栅结构呈现出较大的光谱可调范围（共振峰间距由0~62.7 nm连续可调）;当分别以TE/TM偏振光正入射时,两种偏振光对应的共振波长位置保持不变、光谱曲线相同,相当于平行双光栅结构对应光谱的叠加。TE/TM偏振光倾斜入射时反射峰发生分裂,同时在入射面为P1面时582.3 nm和590.8 nm共振波长位置处,及入射面为P2面时590.8 nm和612.4 nm共振波长位置处呈现出峰位随入射角的增加保持不变的特性。
- 王振华吴永刚凌磊婕夏子奂陈乃波刘仁臣
- 关键词：光栅导模共振偏振光严格耦合波理论
