刘向阳
- 作品数:31 被引量:18H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
- 相关领域:电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- InGaAs低台面线列或面阵红外探测器芯片
- 本发明公开了一种InGaAs低台面线列或面阵红外探测器芯片,包括:在p-InP/InGaAs/n-InP外延片上通过刻蚀形成线列或面阵p-InP微台面。在p-InP微台面上置有与其欧姆接触的Au/Zn/Pt/Au/P电极...
- 唐恒敬吴小利张可锋汪洋刘向阳李永富吴家荣李雪龚海梅
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- 低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法
- 本发明公开了一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法,窗架为可伐合金材料,光学窗口为对红外透光的材料。该方法采用铟作为焊料,在光学窗口的焊接处真空镀膜Cr/Au层作为过渡层,在低温下焊接。本发明的最大优点是由于...
- 王小坤张亚妮朱三根刘向阳
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- 一种具有双面反射层的碲镉汞红外光电导探测器的参考元
- 本发明公开了一种具有双面反射层的碲镉汞红外光电导探测器的参考元,其结构为:在蓝宝石衬底上依次为下反射层,下绝缘层,碲镉汞光导器件层,上绝缘层A,上绝缘层B,铬层,上反射层。该参考元特征在于:蓝宝石衬底与碲镉汞光导器件层之...
- 赵水平李向阳朱龙源刘诗嘉王妮丽罗毅刘向阳兰添翼周青
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- 一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件及其制备方法
- 本发明公开了一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件及其制备方法,其特征在于,器件结构为:在蓝宝石衬底上依次有聚酰亚胺,环氧胶,锰钴镍,金电极。其中所述的蓝宝石衬底为双面抛光的蓝宝石,所述的聚酰亚胺为亚胺化的聚酰亚胺,厚度为1...
- 赵水平李向阳贾嘉朱龙源刘福浩刘诗嘉汤亦聃刘向阳姜佩璐周青罗毅
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- 低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法
- 本发明公开了一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法,窗架为可伐合金材料,光学窗口为对红外透光的材料。该方法采用铟作为焊料,在光学窗口的焊接处真空镀膜Cr/Au层作为过渡层,在低温下焊接。本发明的最大优点是由于...
- 王小坤张亚妮朱三根刘向阳
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- 离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度
- 2014年
- 用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时,n区宽度随汞空位浓度的增加呈线性减小;当汞空位浓度一定时,n区宽度随被刻蚀HgCdTe体积的增加呈线性增加.
- 徐国庆刘向阳王仍储开慧汤亦聃乔辉贾嘉李向阳
- 基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟被引量:1
- 2019年
- 用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证结果表明在沟槽宽度为4~10μm的范围内计算得到的刻蚀深度和SEM测量结果相差6~20%.对掩膜的轮廓演变进行了模拟给出了一个优化设计掩膜厚度来提高深宽比的实例.
- 刘向阳徐国庆徐国庆贾嘉孙艳
- 关键词:碲镉汞离子束水平集方法
- 一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件
- 本专利公开了一种可控制时间常数的锰钴镍热敏器件,其特征在于,器件结构为:在蓝宝石衬底上依次有聚酰亚胺,环氧胶,锰钴镍,金电极。其中所述的蓝宝石衬底为双面抛光的蓝宝石,所述的聚酰亚胺为亚胺化的聚酰亚胺,厚度为1~40微米,...
- 赵水平李向阳贾嘉朱龙源刘福浩刘诗嘉汤亦聃刘向阳姜佩璐周青罗毅
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- 具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元
- 本实用新型公开了一种具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元,其结构为:在蓝宝石衬底上依次为下反射层,下绝缘层,碲镉汞光导器件层,上绝缘层A,上绝缘层B,铬层,上反射层。该参考元特征在于:蓝宝石衬底与碲镉汞光导器件层之...
- 赵水平李向阳朱龙源刘诗嘉王妮丽罗毅刘向阳兰添翼周青
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- 光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法被引量:7
- 2019年
- 为了进一步提高入射到光敏元上的光能,针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形,提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的设计方法。给定焦距,用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精度,对圆形孔径的焦斑均方根半径进行了模拟和理论计算,二者较为吻合。对三次有限元光线追迹的点列图误差进行了估计。计算了会聚到320 pixel×256 pixel背照射紫外焦平面探测器光敏元上的能量集中度,比较了具有不同圆角半径的方形孔径蓝宝石微透镜的效率。结果表明,具有6μm圆角半径的方形孔径微透镜的能量集中度较高,为96%。
- 刘向阳
- 关键词:几何光学有限元光线追迹微透镜阵列非球面