您的位置: 专家智库 > >

刘翰辉

作品数:13 被引量:0H指数:0
供职机构:厦门大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信电气工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 9篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇退火
  • 4篇电子束光刻
  • 4篇热退火
  • 4篇纳米
  • 4篇刻蚀
  • 4篇快速热退火
  • 4篇光刻
  • 4篇存储器
  • 3篇掩膜
  • 3篇掩膜版
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇电池
  • 2篇电极
  • 2篇氧化层
  • 2篇线阵列
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇纳米晶
  • 2篇纳米线
  • 2篇纳米线阵列
  • 2篇金属

机构

  • 13篇厦门大学
  • 1篇宁波大学
  • 1篇厦门市三安光...

作者

  • 13篇刘翰辉
  • 11篇陈松岩
  • 10篇李成
  • 8篇亓东锋
  • 2篇赖虹凯
  • 1篇李欣
  • 1篇黄巍
  • 1篇刘冠洲
  • 1篇李俊

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2013
  • 1篇2011
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
Ge薄膜键合制备绝缘层上锗的方法
Ge薄膜键合制备绝缘层上锗的方法,涉及绝缘层上锗。对Ge片进行离子注入,形成缺陷平面;用光固化胶将PDMS与处理后的Ge片绑定;在处理后的柔性支撑衬底上施加平行于剥离平面的剪切力,将表面Ge薄膜沿着缺陷平面与体Ge基底“...
陈松岩刘翰辉亓东锋李成
文献传递
非平面金属纳米晶多位存储器件的制备方法
非平面金属纳米晶多位存储器件的制备方法,涉及一种金属纳米晶存储器。1)通过电子束光刻方法在Si衬底上刻蚀出凹槽阵列,形成非平面台阶状的结构;2)将刻蚀后的Si衬底经过标准清洗后,采用干法氧化方法,在非平面的Si衬底上氧化...
陈松岩亓东锋刘翰辉李成
文献传递
Ge薄膜键合制备绝缘层上锗的方法
Ge薄膜键合制备绝缘层上锗的方法,涉及绝缘层上锗。对Ge片进行离子注入,形成缺陷平面;用光固化胶将PDMS与处理后的Ge片绑定;在处理后的柔性支撑衬底上施加平行于剥离平面的剪切力,将表面Ge薄膜沿着缺陷平面与体Ge基底“...
陈松岩刘翰辉亓东锋李成
基于SiGe量子点模板刻蚀技术制备锗硅纳米柱的方法
基于SiGe量子点模板刻蚀技术制备锗硅纳米柱的方法,涉及一种SiGe纳米结构。提供一种大面积、纵向方向可控的、侧壁陡直度高的基于SiGe量子点模板刻蚀技术制备锗硅纳米柱的方法。1)将硅片清洗后,在UHV/CVD系统中,在...
陈松岩亓东锋刘翰辉李成赖虹凯
文献传递
退火对SiGe弛豫衬底热稳定性的影响
本文采用低温Ge缓冲层技术制备出SiGe虚衬底结构,研究常规退火对其热稳定性的影响。当退火温度小于800℃时,退火对虚衬底的弛豫度影响较大,而对SiGe合金层的组分调制作用较小。当退火温度大于800℃,底层的低温锗(LT...
亓东锋刘翰辉陈松岩李成赖虹凯黄巍李俊
关键词:退火稳定性
非平面金属纳米晶多位存储器件的制备方法
非平面金属纳米晶多位存储器件的制备方法,涉及一种金属纳米晶存储器。1)通过电子束光刻方法在Si衬底上刻蚀出凹槽阵列,形成非平面台阶状的结构;2)将刻蚀后的Si衬底经过标准清洗后,采用干法氧化方法,在非平面的Si衬底上氧化...
陈松岩亓东锋刘翰辉李成
文献传递
色散效应对聚光多结太阳电池性能的影响及优化
2017年
针对色散效应导致聚光多结太阳电池性能降低的问题,使用分布式三维等效电路模型计算高倍聚光下GaInP/GaInAs/Ge三结太阳电池的输出特性,通过分析电池各层的电压分布、暗电流分布以及横向电流分布,研究了不同电池尺寸下色散效应对电池性能影响的机理.结果表明:色散使多结太阳电池在局部区域的光生电流变得不匹配,随着电池尺寸的减小,局部区域之间失配的光生电流能够以横向电流的形式相互补偿,使电池整体的电流更加匹配,从而减小色散效应的影响.当电池芯片尺寸较大(20 mm×20 mm)时,色散主要降低电池的短路电流密度,色散光斑下电池的效率仅相当于无色散时的94%;当电池芯片尺寸减小到2 mm×2 mm时,短路电流密度与无色散时相等,但横向电阻降低了电池的填充因子.当电池芯片尺寸进一步减小到0.4 mm×0.4 mm时,色散与无色散光斑下电池的各项性能几乎没有差别,效率均约为34.5%,色散效应的影响可忽略不计.
李欣林桂江刘翰辉陈松岩刘冠洲
关键词:聚光光伏多结太阳电池色散
纳秒脉冲激光与金属薄膜材料相互作用的瞬态研究
<正>在纳秒高斯脉冲激光制备金属表面功能性结构的过程中,激光在纳秒时间内辐射到材料表面,引起材料表面发生气化、烧蚀、熔化和氧化等多种热力学过程,因此系统研究激光与物质相互作用过程中热力学变化过程,对于提高光电子、微电子器...
亓东锋刘翰辉陈松岩Costas.P.Grigoropoulos
文献传递
一种柔性可弯曲杂化太阳能电池的制备方法
一种柔性可弯曲杂化太阳能电池的制备方法,对n型Si片预处理,再进行金属辅助腐蚀处理,在n型Si片表面腐蚀出纳米线阵列;将处理后的n型Si片泡入甲醛溶液中浸泡,在Si纳米线表面引入Methacrylate基团;在处理后的S...
陈松岩刘翰辉黄东林李成
文献传递
台阶状氧化层Au/SiO<Sub>2</Sub>/Si纳米柱存储器件的制备方法
台阶状氧化层Au/SiO<Sub>2</Sub>/Si纳米柱存储器件的制备方法,涉及半导体存储器。通过电子束光刻方法在Si衬底上刻蚀出凹槽阵列,形成非平面台阶状结构;将刻蚀后的Si片标准清洗后,采用干法氧化方法,在凹槽阵...
陈松岩亓东锋刘翰辉李成
文献传递
共2页<12>
聚类工具0