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文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 2篇表面化学
  • 1篇砷化镓
  • 1篇污染
  • 1篇吸气
  • 1篇吸气剂
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体表面
  • 1篇光电
  • 1篇光电阴极
  • 1篇光电阴极材料
  • 1篇SIMS分析
  • 1篇UV
  • 1篇UV/O3
  • 1篇XPS分析
  • 1篇AES
  • 1篇GAAS表面
  • 1篇GAINAS...
  • 1篇GAP
  • 1篇INP
  • 1篇表面晶体学

机构

  • 4篇中国科学院电...
  • 1篇华东工学院
  • 1篇中国科学院兰...

作者

  • 4篇夏长虹
  • 3篇陶兆民
  • 2篇邓金祥
  • 1篇杨伟毅
  • 1篇张韶红
  • 1篇高频
  • 1篇杨得全
  • 1篇王广林

传媒

  • 1篇光电子技术
  • 1篇华东工学院学...
  • 1篇电子科学学刊
  • 1篇全国光电子研...

年份

  • 1篇1992
  • 1篇1991
  • 1篇1989
  • 1篇1986
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
GaAs,GaP,InP,GaInAs,GaInPAs晶体表面碳污染的去除
1989年
本文以UV/O_3法去除GaAs,GaP,InP,GaInAs,OaInPAs晶体表面碳的污染,实验给出不同的结果并给予解释。
陶兆民夏长虹潘晓丹潘峡
关键词:晶体表面AES
全文增补中
GaAs表面经UV/O_3处理后的XPS分析
1992年
UV/O_3是去除半导体表面碳氢化合物的有效方法之一。该文利用X光电子能谱仪讨论了GaAs经UV/O_3处理的表面化学状态,得知表面氧化物为Ga_2O_3、As_2O_3及As_2O_5,且其氧化层厚度,当用UV/O_3处理30 min后大约为9 nm。
杨伟毅王广林高频夏长虹邓金祥
关键词:砷化镓表面化学
Ti-Ta吸气丝的SIMS分析被引量:1
1991年
本文给出两种Ti-Ta吸气丝的SIMS分析,比较其结果,对其吸气性能的差异予以讨论,指出其中一种Ti-Ta吸气丝吸气性能差的原因。
邓金祥夏长虹陶兆民余镇江杨得全张韶红
关键词:吸气剂SIMS分析
去除GaAs,InP,GaInAsP表面碳(或碳氢化合物)的污染及去除GaAs表面氢(或还原氧化物)的污染
夏长虹潘晓丹陶兆民
关键词:光电阴极材料表面化学表面晶体学
共1页<1>
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