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李新永

作品数：1 被引量：13H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刻蚀
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇刚石
  • 1篇CVD
  • 1篇CVD金刚石
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇曹莹
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇李新永
  • 1篇蒋振新

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展被引量：13
2003年
金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一。本文介绍了近年来国内外在选择性生长、模型复制、激光刻蚀和等离子体刻蚀等金刚石微机械加工技术方面的研究进展,着重探讨了可以直接对金刚石薄膜进行微细加工的反应离子刻蚀技术.提出了改善微机械加工效果的金属掩膜侧壁钝化概念,为MEMS器件的金刚石微结构集成制造开辟了更为精确有效的技术途径。
丁桂甫曹莹李新永蒋振新
关键词：CVD金刚石薄膜反应离子刻蚀
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