蒋振新
- 作品数：13 被引量：49H指数：5
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 自适应微型光纤连接器
- 一种自适应微型光纤连接器，主要包括硅基体，成型于硅基体上的V型槽，横跨V型槽上方并悬空覆盖V型槽的曲面金属盖板，金属盖板的两端翘曲展宽形成喇叭口，中间部位对称分布细缝开口，金属盖板与硅基体之间形成沿V型槽走向的光纤固定通...
- 蒋振新丁桂甫姚锦元
- 文献传递
- CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展被引量：13
- 2003年
- 金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一。本文介绍了近年来国内外在选择性生长、模型复制、激光刻蚀和等离子体刻蚀等金刚石微机械加工技术方面的研究进展,着重探讨了可以直接对金刚石薄膜进行微细加工的反应离子刻蚀技术.提出了改善微机械加工效果的金属掩膜侧壁钝化概念,为MEMS器件的金刚石微结构集成制造开辟了更为精确有效的技术途径。
- 丁桂甫曹莹李新永蒋振新
- 关键词：CVD金刚石薄膜反应离子刻蚀
- 一种新型MEMS共面波导传输线的理论研究
- 本文提出了一种适合于MEMS的新颖桥式共面波导（BCPW）结构,采用准静态分析方法对其特征阻抗、导体损耗、介质损耗等基本参数进行了系统的理论计算,并与传统共面波导进行了比较分析,结果表明,新设计具有无辐射损耗、宽阻、低损...
- 蒋振新丁桂甫杨春生张永华
- 关键词：特征阻抗导体损耗介质损耗
- 微弯曲面成型技术—多线成面技术被引量：7
- 2003年
- 熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺—多线成面技术。此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点。
- 蒋振新丁桂甫杨春生倪智萍张永华
- 基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法
- 一种基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法。属于通信技术领域。倒置微带传输线包括：介质衬底、信号线金属条带、左接地线金属条带、右接地线金属条带和金属膜桥。左右接地线金属条带和信号线金属条带都位于介质衬底的上表面，金属...
- 蒋振新丁桂甫李永海曹莹
- 文献传递
- 共面波导有限金属厚度效应的研究被引量：5
- 2004年
- 用保角变换法对共面波导金属厚度效应进行了理论分析 ,编制了相应的计算机程序 ,给出了数值解 ,并对此进行了多元曲线拟合 ,导出了考虑金属厚度后的形状比k、有效介电常数、特征阻抗、损耗的闭定表达式。用此修正表达式求得特征阻抗及损耗的数值解 ,并与K .C .格普塔的修正值及实验测量值进行了详细比较 。
- 蒋振新丁桂甫杨春生毛海平张永华
- 关键词：共面波导特征阻抗导体损耗
- 一种新颖的微弯曲面成型技术——多线成面技术
- 熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺一多线成面技术.该工艺首先借助光刻形成一组高宽比渐变的线条序列...
- 蒋振新丁桂甫杨春生倪智萍张永华
- 文献传递
- 共面波导金属条带展宽新公式被引量：2
- 2004年
- 针对需要考虑金属条带厚度效应的共面波导建立了近似的准静态求解模型 ,编制了相应的计算机程序 ,求出了金属条带展宽的数值解 ,接着用最小二乘法和多元曲线拟合进行了处理 ,得到了金属条带展宽新的闭定表达式 ,并导出了相应的形状比系数、特征阻抗、损耗等闭定表达式 .然后用这些表达式计算了特征阻抗及损耗 ,并与KC格普塔公式的计算值和实验值进行了详细比较 ,结果表明新公式的误差降到KC格普塔公式的 13 0～ 31 3% .新公式更有利于精确设计金属厚度效应不可忽略的共面波导 .
- 蒋振新丁桂甫杨春生张永华沈民谊
- 关键词：共面波导特征阻抗损耗
- 基于MEMS技术的射频移相器被引量：8
- 2004年
- 微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法,该方法可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能。相比于GaAs移相器,基于MEMS开关的射频移相器,无论是开关线型、分布式或是反射型,都有很好的RF性能。
- 张永华丁桂甫蒋振新蔡炳初沈民谊
- 关键词：MEMS技术射频移相器微电子机械系统开关相控阵天线插入损耗
- 基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法
- 一种基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法。属于通信技术领域。倒置微带传输线包括：介质衬底、信号线金属条带、左接地线金属条带、右接地线金属条带和金属膜桥。左右接地线金属条带和信号线金属条带都位于介质衬底的上表面，金属...
- 蒋振新丁桂甫李永海曹莹
- 文献传递
