李臆
- 作品数：6 被引量：6H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信医药卫生机械工程更多>>
- 一种双面膜片微型气体富集器
- 本发明公开了一种双面膜片微型气体富集器，由上下两个硅片键合而形成一个微型气室，每个硅片上设置有一个或多个悬空膜片，悬空膜片对应位置的硅被完全去除而形成空腔，每个悬空膜片上制备有薄膜加热器，每个悬空膜片的内壁涂敷有吸附薄膜...
- 杜晓松吴泽李臆蒋亚东邱栋
- 文献传递
- 高深宽比的双道微型气相色谱柱结构设计及对有机氯化物的分离
- 微型气相色谱柱改变传统色谱柱体积大，功耗高的特征，通过微电子机械系统将微电子与精密机械加工两种技术结合，实现气相色谱柱以及系统仪器的微型化，便携化，以满足仪器在复杂环境中快速分析的要求。文章对微型色谱柱进行理论分析并设计...
- 袁欢杜晓松李臆郭鹏飞李亚茹杨潇蒋亚东
- 关键词：微电子机械系统柱效
- 微型气相色谱柱结构设计及对化学战剂模拟剂的快速分离
- 气相色谱柱作为新型色谱柱,因其体积小,柱效高,可与电路集成微型气相色谱系统，因此受到各国研究人员的关注。文章对微型色谱柱在混合组分快速分离方面做了一些分析研究并设计及制备不同结构微型色谱柱，运用微型气相色谱柱对化学战剂及...
- 袁欢李臆杜晓松王洋蒋亚东
- 关键词：化学战剂
- 具有快速分离效果多道微型气相色谱柱被引量：4
- 2014年
- 采用MEMS技术设计了一种多道微型气相色谱柱,运用深槽刻蚀技术(DRIE),对器件刻蚀深400μm,微型色谱柱总长度为50cm,每道宽40μm,4道多道柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE-54固定相。将多道色谱柱与30 m长的安捷伦HP-5毛细管柱多道色谱柱比较,烷烃混合物在两种柱内都被完全分离,混合物在多道柱内的保留时间比在毛细管柱内缩短了两倍,塔板数达到15342 plates/m,是毛细管柱的3倍。多道色谱柱被用于分离苯,甲苯及苯酚致癌组分,所有组分在1 min之内被完全分离。在时间上比之前报道的6 m长微型色谱柱缩短了3倍,实现了快速分离效果。
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- 关键词：MEMS
- 微型气相色谱柱设计与制备及对组份的快速分离研究
- 微型气相色谱柱作为新一代色谱柱，结合微电子技术（MEMS）与色谱柱加工技术进行制备。器件体积小，柱效高，在未来与其他器件整合可形成微型气相色谱系统。目前大多数微型色谱柱还处于研发阶段，并没有在商业中被广泛使用。其原因是微...
- 李臆
- 关键词：微电子技术
- 文献传递
- MEMS半填充气相色谱柱研究被引量：1
- 2014年
- 采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱,运用深反应离子刻蚀(DRIE)技术,对器件刻蚀深250μm,其微型色谱柱总长度为1m,宽度为160μm,槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE—54固定相。通过理论模拟分析柱结构,得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中,选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂,分别对其进行分离,所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。
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- 关键词：微机电系统
