您的位置： 专家智库 > >

齐虹

作品数：9 被引量：15H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术化学工程电子电信环境科学与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇微机电系统
  • 2篇流量传感器
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇低应力
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁兼容
  • 1篇电磁敏感性
  • 1篇电阻
  • 1篇压力传感器
  • 1篇应力
  • 1篇应力测试
  • 1篇优化设计
  • 1篇正交
  • 1篇正交试验
  • 1篇色谱

机构

  • 6篇中国电子科技...
  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 8篇齐虹
  • 4篇李玉玲
  • 3篇王晓光
  • 3篇张岩
  • 1篇李艳杰
  • 1篇王长虹
  • 1篇高超
  • 1篇蒋亚东
  • 1篇陈婧
  • 1篇杜晓松
  • 1篇李臆
  • 1篇雷钢
  • 1篇寇文兵
  • 1篇丁文波
  • 1篇尚瑛琦
  • 1篇王明伟
  • 1篇刘亚娟
  • 1篇王永刚
  • 1篇刘涛
  • 1篇李海博

传媒

  • 3篇传感器与微系...
  • 1篇电子世界
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇信息技术
  • 1篇中国新技术新...

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2014
  • 2篇2012
  • 1篇2010
共 9 条 记 录，以下是 1-8
全选 清除 导出
排序方式：
基于湿法腐蚀的蓝宝石微结构加工技术研究
针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的影响,选取不同工艺参数进行实验并对腐蚀后蓝宝石片进行测试分...
尚瑛琦齐虹马云龙张岩陈婧
关键词：湿法腐蚀蓝宝石面粗糙度
微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究
2012年
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其它需要超薄薄膜微结构的制作奠定了基础。
李玉玲齐虹张岩
关键词：湿法腐蚀TMAHKOH
集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析被引量：1
2016年
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响。同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果表明:该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 m V/gn以上,非线性优于2%。
齐虹王明伟丁文波李玉玲王晓光
关键词：结构参数
压力传感器电磁兼容优化设计被引量：2
2017年
研究影响压力传感器(以下简称传感器)电磁敏感性的主要因素,并提出优化设计方案,确保提高传感器的电磁敏感性。论文中运用模拟退火算法和仿真软件分析方法来预测传感器内射频能量分布的聚集点与畸变点,对传感器的电磁敏感性薄弱环节,有针对性地进行相应优化,并且采用一些其它必要的优化方法来进行优化,对比优化前后的传感器电磁敏感性数据,结论证实,传感器的电磁敏感性得到提高,传感器符合电磁兼容要求,可以将该优化设计在实践应用中推广。
雷钢王长虹齐虹刘亚娟刘涛
关键词：压力传感器电磁敏感性电磁兼容模拟退火算法
流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量：1
2016年
通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。
齐虹李玉玲王晓光张岩寇文兵
关键词：流量传感器温度系数
基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制被引量：8
2012年
基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。
李艳杰齐虹
关键词：芯片流量传感器微机电系统
MEMS半填充气相色谱柱研究被引量：1
2014年
采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱,运用深反应离子刻蚀(DRIE)技术,对器件刻蚀深250μm,其微型色谱柱总长度为1m,宽度为160μm,槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE—54固定相。通过理论模拟分析柱结构,得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中,选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂,分别对其进行分离,所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。
李臆杜晓松高超蒋亚东齐虹王永刚
关键词：微机电系统
低应力Si_3N_4介质膜的制备工艺优化被引量：2
2010年
低应力Si3N4介质膜对于制作微结构传感器是非常重要的。本文通过采用正交试验设计,优化出Si3N4介质膜制备的低应力工艺参数,并给出了Si3N4薄膜应力的测试方法和测试结果。
李海博齐虹王晓光李玉玲
关键词：正交试验应力测试
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0