林碧霞 作品数:51 被引量:443 H指数:14 供职机构: 中国科学技术大学物理学院物理系 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 中国科学院知识创新工程 安徽省自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 电子电信 化学工程 一般工业技术 更多>>
MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性 被引量:31 2001年 近年来 ,随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展 ,许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法 ,试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜 ;研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响 ;观察了样品的室温光致发光光谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较 ,提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。 傅竹西 林碧霞 祝杰 贾云波 刘丽萍 彭小滔关键词:结构特性 光致发光 MOCVD 发光特性 ZnO/SiC/Si异质结构的特性 被引量:2 2006年 用MOCVD方法在P型单晶Si(100)基片上外延SiC层,再用直流溅射在SiC层上生长ZnO薄膜,制备出 ZnO/SiC/Si异质结构,用XRD和AFM分析了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si异质结构中表层ZnO的结构和形貌的差别,研究了这种异质结构的特性.结果表明,在Si(100)基片上外延生长出的是高取向、高结晶质量的SiC(100)层.这个SiC层缓冲层使在Si基片上外延生长出了高质量ZnO薄膜,因为ZnO与SiC的晶格失配比ZnO与Si的晶格失配更低. 段理 林碧霞 姚然 傅竹西ZnO薄膜的特殊光谱性质及其机理 被引量:19 2004年 以同步辐射真空紫外光 (1 95nm)为激发源 ,在低温下观察到Si基衬底上ZnO薄膜的发光有三种紫外发射 ,其峰值波长分别为 380 ,36 9.5 ,2 90nm。它们各自具有不同的衰减时间和不同的温度依赖关系 ,但其激发谱相同。强激发带不在近紫外区 ,而在真空紫外区 (1 0 0~ 2 0 0nm) ,可能源于ZnO的下价带 (Zn3d组态 )电子的激发。 施朝淑 张国斌 陈永虎 林碧霞 孙玉明 徐彭寿 傅竹西 Kirm M Zimmerer G关键词:ZNO薄膜 发光 真空紫外 光谱特性 Si基沉积ZnO薄膜的光谱特性 被引量:35 2001年 利用同步辐射真空紫外光研究了Si基沉积ZnO薄膜的发射光谱、激发光谱及其温度依赖。首次观测到高于ZnO禁带宽度的发射带 ( 2 90nm) ,并初步指定其来源。 张国斌 施朝淑 韩正甫 石军岩 林碧霞 Kirm M Zimmerer G关键词:光致发光 氧化锌 半导体 ZnO/SiC异质结的外延生长 本文利用MOCVD高温反应室系统,在Si衬底上先外延6H-SiC薄膜,然后在低温反应室以6H-SiC/Si为衬底,外延高质量的ZnO薄膜,并对薄膜的性质作相应的研究. 朱俊杰 林碧霞 傅竹西关键词:氧化锌薄膜 宽禁带半导体材料 MOCVD 异质结 溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性 被引量:21 2001年 近紫外光发射氧化锌薄膜是一种新兴的发光材料 ,它的发光波长比氮化镓的蓝光波长更短 ,在光存储应用中可以进一步提高光存储的密度 ,因而在光电子领域具有重要应用价值而备受关注。在此介绍我们用直流反应溅射方法在硅衬底上生长的氧化锌薄膜 ,观察了它们的阴极射线发光和光致发光光谱 ,研究了发光与薄膜晶体结构 ,以及发光与激发电子束流的关系等。 林碧霞 傅竹西 贾云波 廖桂红关键词:氧化锌 光致发光光谱 发光特性 LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响 被引量:19 2005年 利用低压金属有机化学气相淀积(LP MOCVD)在Si基片上外延生长ZnO薄膜,制备了两类样品一类是在Si上直接外延ZnO,另一类是在Si上通过SiC过渡层来外延ZnO.根据两类样品的拉曼光谱、x射线衍射、原子力显微图和光致发光的结果,表明ZnO外延薄膜中的张应力对薄膜的结晶状况有着重要的影响,使用SiC过渡层能够有效缓解ZnO薄膜中的张应力,减小缺陷浓度,提高ZnO外延层的质量;然后根据缺陷的形成机制进一步提出,对于ZnO Si,其中较大的张应力导致了高浓度的非辐射复合缺陷的形成,使得样品的紫外和绿峰的发射强度均大大降低;对于ZnO SiC Si,其中较小的张应力导致ZnO薄膜中主要形成氧替位缺陷OZn,从而使发光中的绿峰增强. 孙贤开 林碧霞 朱俊杰 张杨 傅竹西关键词:氧化锌薄膜 拉曼光谱 Fe-Ni-B系列超微粉的制备与特性 林碧霞 黄允兰关键词:超细粉 含铁合金 镍合金 磁性 氧化锌半导体薄膜的发光光谱特性 被引量:21 1999年 用直流反应溅射方法在Si(100)基片上生长出具有六角晶型的ZnO 薄膜.测量了样品的阴极射线发光特性及其与薄膜晶体结构的关系.在所有测量样品中均观察到较强的绿带(520nm )发射,随着薄膜单晶程度的提高,光谱中开始出现蓝带(~450nm ),并在类单晶薄膜中看到了强度大于绿带的近紫外谱带(390nm );它的强度随着阴极射线电子束流密度增加而迅速增加.根据ZnO 中激子的结合能数据,推测紫带发射来源于ZnO 的激子跃迁.实验结果说明。 傅竹西 林碧霞 郭常新 廖桂红关键词:氧化锌 半导体薄膜 ZnO∶Al薄膜中本征缺陷对光电效应的影响 被引量:4 2004年 在直流溅射法制备ZnO薄膜的过程中 ,通过合适选取溅射时氧氩的压力比 ,可以显著提高所得n ZnO p Si异质结的光生短路电流 ,并且对该异质结的光生开路电压没有明显影响 ,从而可以用这种方法明显提高其光电转化能力。即使是在已经进行了n型掺杂的ZnO薄膜 (这里为ZnO∶Al)中 ,改变溅射时氧氩比对光电效应的影响也很明显。通过实验 ,已经证实了产生这种现象的原因是溅射时氧氩比的改变导致了ZnO薄膜内部的本征缺陷浓度的改变 ,使得载流子浓度变化而导致的结果。在氧氩压力比约为 1∶3时 。 段理 林碧霞 朱俊杰 汪进 张国非 傅竹西关键词:氧化锌薄膜 异质结 本征缺陷 光电效应