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罗斯建

作品数：3 被引量：19H指数：3
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程

主题

  • 2篇微机电系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇电路
  • 1篇电路研究
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇噪声
  • 1篇深反应离子刻...
  • 1篇陀螺
  • 1篇系统噪声
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇建模方法
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS陀螺

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇罗斯建
  • 2篇金仲和
  • 2篇郑旭东
  • 2篇郑阳明
  • 2篇王跃林
  • 1篇曹学成
  • 1篇张霞

传媒

  • 2篇传感技术学报

年份

  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电容式微机械加速度计检测电路研究
微机械加速度计作为一种重要的惯性器件，在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。性能指标的提高一直是微机械加速度计领域的重要研究方向。其中，检测电路的性能对加速度计整体性能起着日益重要的决定作用。本文针对变面积电...
罗斯建
关键词：微机电系统
文献传递
一种新的MEMS系统噪声建模方法被引量：4
2008年
提出了一种基于Matlab中Simulink工具箱的行为级仿真建模方法。通过提取微机械陀螺的机械结构参数以及外围电路的主要参数,利用传感器的运动方程和系统的传递函数在Simulink平台上建立起MEMS陀螺系统的行为级仿真平台.并在该平台中加入了陀螺器件和电路部分的噪声源。同时对AD630解调电路进行了建模以及噪声性能测试,分析了此种开关型解调电路的优化应用条件。
张霞郑旭东郑阳明罗斯建王跃林金仲和
关键词：MEMS陀螺噪声
一种电容式微机械加速度计的设计被引量：12
2008年
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。
郑旭东曹学成郑阳明罗斯建王跃林金仲和
关键词：电容式加速度计微机电系统深反应离子刻蚀
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