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曹学成

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇深反应离子刻...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇金仲和
  • 1篇郑旭东
  • 1篇郑阳明
  • 1篇王跃林
  • 1篇罗斯建
  • 1篇曹学成

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种电容式微机械加速度计的设计被引量：12
2008年
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。
郑旭东曹学成郑阳明罗斯建王跃林金仲和
关键词：电容式加速度计微机电系统深反应离子刻蚀
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