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刘洪

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇四甲基
  • 1篇四甲基氢氧化...
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化铵
  • 1篇力传感器
  • 1篇甲基
  • 1篇感器
  • 1篇TMAH
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇张生才
  • 1篇毛赣如
  • 1篇姚素英
  • 1篇刘洪
  • 1篇张维新
  • 1篇曲宏伟

传媒

  • 1篇电子科技大学...

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
TMAH在压力传感器制作中的应用被引量：3
2000年
介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果。
刘洪姚素英曲宏伟张生才张维新毛赣如
关键词：四甲基氢氧化铵压力传感器
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共1页<1>
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