张玉峰
- 作品数：11 被引量：13H指数：3
- 供职机构：河北工业大学更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信交通运输工程机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物
- 本发明公开了一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物。本发明组合物由研磨颗粒、络合剂、表面活性剂、抑菌剂、无机碱和水组成；研磨颗粒的含量为重量百分比5～50％；络合剂的含量为重量百分比0.01～10％；表面活性剂的含量为...
- 何彦刚牛新环孙鸣陈国栋张玉峰周建伟刘玉岭
- 文献传递
- 车辆盲区监测系统综述被引量：4
- 2018年
- 详细介绍了车辆盲区带来的危害以及车辆盲区的成因和分类,说明车辆盲区监测系统的重要性。研究了国内外车辆盲区监测系统的发展现状,对车辆盲区监测系统的组成和工作原理进行具体阐述,针对车辆盲区监测系统存在的不足进行了分析,并对未来研究发展的重点进行了思考和展望。
- 赵志成张玉峰张玉峰何佳
- 关键词：车辆安全信息采集
- 阻挡层CMP中表面活性剂对抛光效果的影响被引量：3
- 2014年
- 研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用。利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光。通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光速率,再对12英寸布线晶圆片进行抛光,利用台阶仪测量抛光前后碟形坑大小的变化,最后利用原子力显微镜对抛光后布线晶圆片的表面形貌进行测试。研究表明抛光液中活性剂体积分数不同会引起抛光速率的变化,也会影响碟形坑的修正效果。当抛光液中活性剂体积分数达到2.0%时,修正值达到85.6 nm/min,优于其他活性剂体积分数时的修正值。另外,活性剂体积分数的增加有助于降低抛光后晶圆表面的粗糙度。活性剂体积分数小于3.0%时,粗糙度随着活性剂体积分数的增加而降低。这一发现可以对配制抛光液时活性剂体积分数的确定起到一定的参考作用。
- 李若津王胜利栾晓东刘桂林张玉峰
- 关键词：表面活性剂阻挡层
- 无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制被引量：3
- 2014年
- 目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。
- 李炎刘玉岭卜小峰孙铭斌杨志欣张男男张玉峰程川
- 关键词：表面活性剂腐蚀速率
- 一种园区内远程约车系统及其方法
- 本发明涉及一种园区内远程约车系统及其方法，该系统包括智能汽车、车载终端、云服务器和手机APP，智能汽车、车载终端、云服务器和手机APP依次连接在一起，约车人员用手机APP选择起点和终点并向云服务器下达约车指令，云服务器将...
- 张小俊张泽万媛郭建锐张玉峰
- 文献传递
- 一种面向V2X预警应用的虚拟场景测试系统及其方法
- 本发明涉及一种面向V2X预警应用的虚拟场景测试系统及其方法，该系统包括GPS模拟器、信道模拟器、信息仿真平台和场景显示器；GPS模拟器将待测设备的行车路线转化为GPS数值点传递给待测设备；信息仿真平台仿真目标发送BSM信...
- 张小俊郭建锐万媛张泽张玉峰
- 文献传递
- CMP抛光液对TiO_2薄膜表面粗糙度的影响被引量：3
- 2014年
- 采用自主配制的碱性抛光液对TiO2薄膜进行了化学机械抛光(CMP),研究了在TiO2薄膜CMP加工过程中,碱性抛光液中的SiO2磨料、螯合剂、表面活性剂的体积分数和抛光液pH值对TiO2薄膜表面粗糙度的影响,并进行了参数优化。实验结果表明,在一定的抛光条件下,选用SiO2磨料体积分数为20%、螯合剂体积分数为1.0%、非离子表面活性剂体积分数为5.0%和pH值为9.0的碱性抛光液,抛光后TiO2薄膜表面没有划痕等抛光缺陷,表面粗糙度为0.308 nm,TiO2薄膜去除速率为24 nm/min,在保证抛光速率的同时降低了TiO2薄膜表面粗糙度,满足工业化生产要求。
- 张玉峰王胜利刘玉岭段波李若津杜旭涛
- 关键词：二氧化钛薄膜碱性抛光液表面粗糙度
- 牛奶纤维理化性能与可染性的研究
- 2014年
- 通过对牛奶纤维基本物理化学性质的研究,论述了牛奶纤维在纺织和印染方面的先进性和适用性。根据不同类型染料对牛奶纤维的上染情况,确定了适合上染牛奶纤维的染料种类。通过分析不同类型染料的染色速率曲线,得到了最佳染色工艺。根据不同染料的染色牢度和牛奶纤维染色后颜色的鲜艳程度,进一步证实了该工艺适合于牛奶纤维的染色过程,这对于最后得到合理的纺织品开发方案亦是不可或缺。
- 李炎张海燕卜小峰张男男张玉峰程川
- 关键词：牛奶纤维羊毛理化性能可染性
- 一种面向自动泊车的停车位视觉识别系统及其识别方法
- 本发明涉及一种面向自动泊车的停车位视觉识别系统及其识别方法，该系统包括对停车场内的停车位图像进行采集的停车位图像采集模块、对接收到的停车位视频图像按帧依次进行识别处理的停车位图像识别处理模块、对停车位图像识别处理模块识别...
- 张小俊张玉峰孙凌宇张明路
- 文献传递
- GLSI多层铜布线阻挡层CMP及其后清洗表面粗糙度的研究
- 随着集成电路技术的迅猛发展和进步，芯片的集成度越来越高，特征尺寸逐渐减小，线宽也越来越窄，对集成电路性能的要求越来越高，如提高集成度、解决互连延迟，还要满足性能、频宽和功耗的要求等。目前，国际上特征尺寸为22nm/20n...
- 张玉峰
- 关键词：集成电路化学机械抛光表面粗糙度
