洪松
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：天津理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金天津市自然科学基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信更多>>
- 声表面波滤波器基底金刚石的研制
- 随着现代电子设备信息处理量的扩大，通信载波频段必须向更高频的频率区移动，声表面波滤波器(SAWF)是现代无限移动通讯系统的关键部件之一，其工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和波长入决定的，即f=V/λ：由于所采用的材...
- 洪松
- 关键词：声表面波滤波器金刚石薄膜有限元法
- 文献传递
- 喷射CVD法制备金刚石厚膜及其内应力分析被引量：4
- 2010年
- 采用直流电弧等离子体喷射CVD法制备出金刚石薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱及X射线衍射(XRD)等研究基底温度对金刚石厚膜生长特性及内应力的影响。结果表明:950℃基底温度生长的金刚石厚膜结晶性能较好,纯度较高;而850℃和1050℃生长的金刚石厚膜表面呈现大量的孪晶缺陷,结晶度较低,同时出现较多的非金刚石碳,纯度较低。随着基底温度的增加,(111)晶面和(311)晶面的衍射峰强度逐渐增强,(220)晶面的衍射峰强度逐渐降低。850℃和950℃基底温度生长的金刚石厚膜的宏观应力和微观应力都呈现出拉应力,1050℃基底温度生长的金刚石厚膜的宏观应力和微观应力都呈现出压应力。
- 洪松杨保和李明吉吴晓国
- 关键词：金刚石薄膜基底温度内应力
- H_2-O_2混合气氛刻蚀制备金刚石纳米晶薄膜被引量：5
- 2006年
- 提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形貌和结构特点。分析表明,利用这种方法可以制备出高sp3含量的NCD薄膜。通过与沉积时间加长而沉积条件相同情况下合成的金刚石微晶薄膜形貌相对比,分析了H2-O2混合气氛刻蚀制备NCD薄膜的机理。分析表明,基底的平滑度对O2的刻蚀作用起到重要的影响;在平滑的基底上,含量较少的O2的刻蚀作用也很明显;随着基底的平滑度下降,混合气氛中O2的刻蚀作用逐渐减弱。
- 熊瑛杨保和吴小国孙大智李明洪松
- 关键词：O2
